[发明专利]掩模片、蒸镀掩模、显示面板的制造方法

说明书

本发明的掩模片为蒸镀用的掩模片，其包括：能够被夹住的侧端部(G1)；和中间部(M)，该中间部(M)包括形成有多个蒸镀孔(H)的有效部(YA)和包围该有效部的边缘部(FA)，上述掩模片的特征在于：在上述边缘部形成有多个凹处(P)或多个贯通孔(D)。

技术领域

本发明涉及蒸镀用的掩模片等。

背景技术

例如在OLED(有机发光二极管)面板的制造工序中，使有机物穿过具有多个蒸镀孔的蒸镀掩模蒸镀在基板上，从而形成与多个蒸镀孔对应的有机物的图案。

蒸镀掩模可通过将多个掩模片以架设的状态固定在框体上来制作。在专利文献1中，通过以包围掩模片的有效部(形成有蒸镀孔的蒸镀部)的方式设置肋，提高了掩模片的刚度。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2012-132096(公开日：2012年7月12日)

发明内容

发明要解决的技术问题

当像专利文献1那样以包围有效部的方式设置肋时，会在掩模片内产生刚度低的有效部和将该刚度低的有效部包围的刚度高的部分，例如像图13那样，发生掩模片在架设时变形的问题。

用于解决技术问题的手段

本发明的一个方式的掩模片是蒸镀用的掩模片，其包括：能够被夹住的侧端部；和中间部，该中间部包括形成有多个蒸镀孔的有效部和包围该有效部的边缘部，上述掩模片的特征在于：在上述边缘部形成有多个凹处或多个贯通孔。

发明效果

采用本发明，能够改善掩模片在架设时变形的问题。

附图说明

图1的(a)是表示OLED面板的制造方法的概要的流程图，(b)是表示OLED面板的结构的截面图。

图2是表示OLED面板的蒸镀工序的示意图。

图3是表示实施方式1的掩模片的结构的平面图。

图4是表示实施方式1的图，(a)是包含掩模片的蒸镀掩模的平面图，(b)是表示掩模片的架设方法的平面图，(c)是(a)的c-c截面图，(d)是(a)的f-f截面图。

图5是表示蒸镀掩模的制作方法的流程图。

图6是表示实施方式1的图，(a)是掩模片的平面图，(b)是(a)的A-A截面图，(c)是(a)的B-B截面图。

图7是表示实施方式1的图，(a)是掩模片的平面图，(b)是(a)的C-C截面图，(c)是(a)的D-D截面图。

图8是对掩模片的平均厚度的概念进行说明的图，(a)和(b)是有效部的截面图，(c)和(d)是边缘部的截面图，(e)是有效部的平面图，(f)是边缘部的平面图。

图9是表示实施例1的变形例的图，(a)是掩模片的平面图，(b)和(c)是边缘部的截面图，(d)是边缘部的平面图。

图10是表示实施方式2的掩模片的结构的平面图。

图11的(a)是表示实施方式2的掩模片的有效部的平面图，(b)是表示上述掩模片的边缘部的平面图，(c)是表示实施方式2的蒸镀掩模的结构的平面图。

图12是表示实施例2的变形例的图，(a)～(c)是掩模片的平面图。

图13是表示以往的掩模片的问题点的平面图。

具体实施方式

下面，基于图1～图13对本发明的实施方式进行说明。