[发明专利]掩模片、蒸镀掩模、显示面板的制造方法

权利要求书

1.一种掩模片，其为蒸镀用的掩模片，包括：能够被夹住的侧端部；和中间部，该中间部包括形成有多个蒸镀孔的有效部和包围该有效部的边缘部，

所述掩模片的特征在于：

在所述边缘部形成有多个凹处或多个贯通孔。

2.如权利要求1所述的掩模片，其特征在于：

所述多个蒸镀孔的开口图案由第一单位图案重复构成，所述多个凹处的开口图案由第二单位图案重复构成，

第二单位图案中凹处的开口所占的面积比例大于第一单位图案中蒸镀孔的开口所占的面积比例。

3.如权利要求2所述的掩模片，其特征在于：

将连结相邻2个蒸镀孔的开口的中心的线段设为第一开口线，将长度与该第一开口线相同且不通过蒸镀孔的开口的线段设为第一间隙线时，

所述边缘部的与第二单位图案对应的部分的平均厚度小于包含所述第一间隙线的截面的平均厚度。

4.如权利要求3所述的掩模片，其特征在于：

所述边缘部的与第二单位图案对应的部分的平均厚度大于包含所述第一开口线的截面的平均厚度。

5.如权利要求2所述的掩模片，其特征在于：

所述有效部的与第一单位图案对应的部分的平均厚度和所述边缘部的与第二单位图案对应的部分的平均厚度相等。

6.如权利要求3所述的掩模片，其特征在于：

将连结相邻2个凹处的开口的中心的线段设为第二开口线，将长度与该第二开口线相同且不通过凹处的开口的线段设为第二间隙线时，

包含所述第一开口线的截面的平均厚度＜包含所述第二开口线的截面的平均厚度＜包含所述第一间隙线的截面的平均厚度以及包含所述第二间隙线的截面的平均厚度。

7.如权利要求1～6中任一项所述的掩模片，其特征在于：

将所述掩模片的与蒸镀源相对的一侧的表面设为下表面时，所述多个凹处形成在所述边缘部的下表面。

8.如权利要求1～7中任一项所述的掩模片，其特征在于：

将所述掩模片的与蒸镀源相对的一侧的表面设为下表面时，所述多个凹处形成在所述边缘部的上表面和下表面中的至少一者的整个区域。

9.如权利要求1～8中任一项所述的掩模片，其特征在于：

所述边缘部的最大厚度与有效部的最大厚度相等。

10.如权利要求1～9中任一项所述的掩模片，其特征在于：

所述多个凹处的开口图案或所述多个贯通孔的开口图案为方格交错排列形状。

11.如权利要求1～10中任一项所述的掩模片，其特征在于：

将所述掩模片的与蒸镀源相对的一侧的表面设为下表面时，在有效部的上表面具有各自的开口的多个蒸镀孔在有效部的下表面连通。

12.如权利要求1所述的掩模片，其特征在于：

所述多个蒸镀孔的开口图案由第一单位图案重复构成，所述多个贯通孔的开口图案由第三单位图案重复构成，

第三单位图案中贯通孔的开口所占的面积比例与第一单位图案中蒸镀孔的开口所占的面积比例相等。

13.如权利要求1所述的掩模片，其特征在于：

所述多个贯通孔遍及整个所述边缘部地形成。

14.如权利要求1所述的掩模片，其特征在于：

所述多个蒸镀孔的开口图案与所述多个贯通孔的开口图案相同。

15.一种蒸镀掩模，其特征在于：

包括：权利要求1所述的掩模片；框体；和架设在框体上的桥片，掩模片以所述边缘部叠放在所述桥片上的状态被固定在框体上。