[发明专利]用于涂布柔性基板的沉积设备和涂布柔性基板的方法

权利要求书

1.一种用层堆叠结构涂布柔性基板(10)的沉积设备(100)，包含：

第一卷筒腔室(110)，被配置用于容纳存储卷筒(112)，所述存储卷筒(112)用于提供所述柔性基板(10)；

第一沉积腔室(120)，布置在所述第一卷筒腔室(110)下游且包含第一涂布滚筒(122)，所述第一涂布滚筒(122)被配置用于引导所述柔性基板经过第一组多个沉积单元(121)；

第二沉积腔室(140)，布置在所述第一沉积腔室(120)下游且包含第二涂布滚筒(142)，所述第二涂布滚筒(142)被配置用于引导所述柔性基板经过第二组多个沉积单元(141)；

第二卷筒腔室(150)，布置在所述第二沉积腔室(140)下游且被配置用于容纳缠绕卷筒(152)，所述缠绕卷筒(152)用于在沉积后在所述缠绕卷筒(152)上缠绕所述柔性基板(10)；和

辊组件，被配置成将所述柔性基板沿部分凸形并且部分凹形的基板传送路径从所述第一卷筒腔室传送到所述第二卷筒腔室。

2.如权利要求1所述的沉积设备，进一步包含清洁腔室(170)，所述清洁腔室(170)布置在所述第一卷筒腔室(110)下游且在所述第一沉积腔室(120)上游，其中在所述清洁腔室(170)中提供用于清洁所述柔性基板(10)的至少一个清洁装置。

3.如权利要求1或2所述的沉积设备，其中在第一涂布滚筒上游，特别是在所述清洁腔室(170)中，提供用于清洁所述柔性基板(10)的第一主表面的第一清洁装置(171)和用于清洁所述柔性基板(10)的第二主表面的第二清洁装置(172)。

4.如权利要求1至3中任一项所述的沉积设备，进一步包含安置在所述第一组多个沉积单元(121)下游的第一涂布后清洁装置(173)和安置在所述第二组多个沉积单元(141)下游的第二涂布后清洁装置(174)中的至少一个。

5.如权利要求2至4中任一项所述的沉积设备，其中所述至少一个清洁装置包含第一粘性卷(175)和第二粘性卷(176)，其中所述第二粘性卷(176)的粘度大于所述第一粘性卷(175)的粘度。

6.如权利要求1至5中任一项所述的沉积设备，进一步包含连接腔室(130)，所述连接腔室(130)布置在所述第一沉积腔室(120)的下游且在所述第二沉积腔室(140)的上游。

7.如权利要求1至6中任一项所述的沉积设备，进一步包含退火单元(114)，所述退火单元(114)特别地包含可加热辊(115)和辐射加热器(116)中的至少一个，所述退火单元(114)被配置用于在所述第一组多个沉积单元(121)上游的位置处加热所述柔性基板，所述退火单元(114)特别地布置在所述第一卷筒腔室(110)中。

8.如权利要求1至7中任一项所述的沉积设备，进一步包含缺陷检查装置(154)以用于在沉积后检测所述柔性基板的缺陷，所述缺陷检查装置(154)特别地包含光源(155)和光检测器(156)，特别地其中所述缺陷检查装置(154)布置在所述第二卷筒腔室(150)中。

9.如权利要求1至8中任一项所述的沉积设备，进一步包含布置在所述第一组多个沉积单元(121)下游且在所述第二组多个沉积单元(141)上游的第一监测装置(161)和布置在所述第二组多个沉积单元(141)下游的第二监测装置(162)中的至少一个，其中所述第一监测装置(161)和/或所述第二监测装置(162)被配置用于测量沉积在所述柔性基板(10)上的至少一个层的电学和/或光学性质。

10.如权利要求1至9中任一项所述的沉积设备，进一步包含：至少一个张力测量辊(184、185、186、187、188)，被配置用于测量所述柔性基板的张力；和至少一个拉伸辊(181、183)，被配置用于拉伸所述柔性基板，其中根据由所述至少一个张力测量辊所测量的所述柔性基板的张力来控制所述至少一个拉伸辊。