[发明专利]基板处理装置、振动检测系统以及计算机可读取记录介质

权利要求书

1.一种基板处理装置，其特征在于，

该基板处理装置具备：

载置部，其载置基板收容器；

基板保持工具，其保持被收纳在上述基板收容器内的基板；

各运送机构，其在载置于上述载置部的基板收容器和上述基板保持工具之间交接上述基板，并进行上述基板保持工具的升降以及旋转等运送动作；

检测部，其被设置于该各运送机构中任意一个以上的运送机构，来检测振动；

存储部，其预先登记基板的固有振动频率以及阈值；以及

监视部，其将基于从上述检测部检测出的检测数据转换而得的转换数据的振动强度与上述阈值进行比较，监视基于上述转换数据的振动频率与上述基板的固有振动频率是否一致，

上述监视部构成为，如果超过了上述阈值的次数未满预定次数，则使上述检测部继续振动的检测，当达到预定次数时，变更载置在上述运送机构上的上述基板的片数。

2.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，

上述监视部构成为，如果上述振动强度是在上述阈值的范围内，则使上述检测部继续振动的检测。

3.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，

上述监视部构成为，如果上述振动的强度超过上述阈值，则确认由上述检测部检测出的振动频率与固有振动频率一致的次数。

4.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，

上述监视部构成为，即使在超过了上述阈值的次数达到预定次数时，仍继续上述运送机构的动作。

5.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，

上述监视部构成为，如果超过了上述阈值的次数达到预定次数，则使上述检测部结束振动的检测。

6.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，

上述监视部构成为，监视基于上述转换数据的振动频率是否与上述运送机构的固有振动频率一致。

7.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，

该基板处理装置还具备：

解析部，其解析上述检测部检测出的检测数据并生成转换数据，

上述解析部构成为，将相当于以上述基板的固有振动频率为中心的区域的上述转换数据传送给上述监视部。

8.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，

该基板处理装置还具备：

解析部，其解析上述检测部检测出的检测数据并生成转换数据，

上述解析部构成为，将上述转换数据的以上述基板的固有振动频率为中心的区域中的最大值、平均值等预定值传送给上述监视部。

9.一种基板处理装置，其特征在于，

该基板处理装置具备：

载置部，其载置基板收容器；

基板保持工具，其保持被收纳在上述基板收容器内的基板；

各运送机构，其在载置于上述载置部的基板收容器和上述基板保持工具之间交接上述基板，并进行上述基板保持工具的升降以及旋转等运送动作；

检测部，其被设置于该各运送机构中任意一个以上的运送机构，检测上述运送机构进行动作期间的振动；

存储部，其预先登记上述运送机构的固有振动频率以及阈值；以及

监视部，其将基于从上述检测部检测出的检测数据转换而得的转换数据的振动强度与上述阈值进行比较，监视基于上述转换数据的振动频率与上述运送机构的固有振动频率是否一致，

上述监视部构成为，如果超过了上述阈值的次数未满预定次数，则使上述检测部继续振动的检测，当达到预定次数时，变更载置在上述运送机构上的上述基板的片数。