[发明专利]波长转换装置

说明书

一种波长转换装置，其具有至少1个移动装置，该移动装置包括：A.晶体保持架，其对非线性晶体进行保持，该非线性晶体对入射的激光进行波长转换并输出该激光；以及B.驱动部，其包括音圈马达，该驱动部使所述晶体保持架至少向与作为所述激光的光路轴方向的第1方向正交的方向移动。另外，驱动部使晶体保持架旋转以变更激光向非线性晶体入射的入射角度。驱动部包括：二维驱动部，其被构成为包括平面型音圈马达，以及一维驱动部，其被构成为包括圆筒型音圈马达。二维驱动部进行如下驱动：与第1方向正交的第2方向上的直线驱动，以及以与第1方向和第2方向正交的第3方向为中心的旋转驱动。一维驱动部进行第3方向上的直线驱动。

技术领域

本发明涉及在激光装置中所使用的波长转换装置。

背景技术

随着半导体集成回路的精细化、高集成化，在半导体曝光装置中要求提高分辨率。以下，将半导体曝光装置仅称作“曝光装置”。因此，从曝光用光源输出的光的短波长化处于进展之中。对于曝光用光源，使用气体激光装置代替以往的水银灯。目前，作为曝光用激光装置，使用输出波长为248nm的紫外线的KrF准分子激光装置以及输出波长为193.4nm的紫外线的ArF准分子激光装置。

作为当前的曝光技术，实际使用的是液浸曝光，在该液浸曝光中，通过用液体填满曝光装置侧的投影透镜与晶片之间的间隙而改变该间隙的折射率、来使曝光用光源所表现出来的波长短波长化。在将ArF准分子激光装置用作曝光用光源来进行液浸曝光的情况下，向晶片照射水中的波长为134nm的紫外光。将该技术称作ArF液浸曝光。ArF液浸曝光也称作ArF液浸光刻。

KrF、ArF准分子激光装置的自然振荡中的谱线宽度较宽，大约为350pm～400pm，因此，通过曝光装置侧的投影透镜而缩小投影在晶片上的激光(紫外线光)会产生色像差，从而分辨率下降。因此，需要使从气体激光装置输出的激光的谱线宽度窄带化，直到达到可以忽视色像差的程度。因此，在气体激光装置的激光谐振器内设置有具备窄带化元件的窄带化模块(Line Narrowing Module)。通过该窄带化模块，能够实现谱线宽度的窄带化。窄带化元件也可以是标准具或光栅等。将谱线宽度以这样的方式被窄带化的激光装置称作窄带化激光装置。

另外，对于曝光装置用激光装置而言，从节能的观点出发，还存在使用固体激光装置的曝光装置用激光装置。固体激光装置构成为包括半导体激光器、非线性晶体等。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利第4729093号公报

专利文献2:日本专利第5225715号公报

专利文献3:美国专利第6859335号说明书

专利文献4:国际公开第2015/117849号

专利文献5:日本特开2015-129855号公报

发明内容

本公开的1个观点的波长转换装置具有至少1个移动装置，该移动装置包括：A.晶体保持架，其对非线性晶体进行保持，该非线性晶体对入射的激光进行波长转换并输出该激光；以及B.驱动部，其包括音圈马达，该驱动部使晶体保持架至少在与作为激光的光路轴方向的第1方向正交的方向上移动。

附图说明

以下，参照附图，将本公开的几个实施方式仅作为示例进行说明。

图1是概要性地示出比较例的固体激光系统的结构的图。

图2是示出第1移动装置的立体图。

图3是说明比较例的固体激光系统的课题的图。

图4是示出第1实施方式的移动装置的外观的立体图。

图5是示出从移动装置拆下第1轭铁后的状态的立体图。