[发明专利]波长转换装置

权利要求书

1.一种波长转换装置，其具有至少1个移动装置，该移动装置包括：

A.晶体保持架，其对非线性晶体进行保持，该非线性晶体对入射的激光进行波长转换并输出波长转换后的激光；以及

B.驱动部，其包括音圈马达，该驱动部使所述晶体保持架至少在与作为所述激光的光路轴方向的第1方向正交的方向上移动，

所述驱动部包括：

二维驱动部，其被构成为包括平面型音圈马达；以及

一维驱动部，其被构成为包括圆筒型音圈马达，

这里，所述二维驱动部进行如下驱动：与所述第1方向正交的第2方向上的直线驱动、和以与所述第1方向和所述第2方向正交的第3方向为中心的旋转驱动，

所述一维驱动部进行所述第3方向上的直线驱动。

2.根据权利要求1所述的波长转换装置，其中，

所述驱动部使所述晶体保持架旋转，以变更所述激光向所述非线性晶体入射的入射角度。

3.根据权利要求1所述的波长转换装置，其中，

所述一维驱动部被所述二维驱动部保持，

所述晶体保持架被所述一维驱动部保持。

4.根据权利要求3所述的波长转换装置，其中，

所述二维驱动部包括：

第1音圈马达和第2音圈马达，它们在所述第2方向上产生驱动力；以及

第3音圈马达和第4音圈马达，它们在所述第1方向上产生驱动力，

这里，所述第1音圈马达和所述第2音圈马达通过各自在相同方向上产生驱动力而进行所述第2方向上的直线驱动，

所述第3音圈马达和所述第4音圈马达通过在彼此相反的方向上产生驱动力而进行以所述第3方向为中心的旋转驱动。

5.根据权利要求4所述的波长转换装置，其中，

所述二维驱动部还包括保持所述一维驱动部的可动板，

通过第1音圈马达、第2音圈马达、第3音圈马达以及第4音圈马达对所述可动板进行驱动。

6.根据权利要求5所述的波长转换装置，其中，

所述二维驱动部还包括滑动支承部件，该滑动支承部件将所述可动板支承为能够进行滑动。

7.根据权利要求1所述的波长转换装置，其中，

所述移动装置还包括：

C.施力部件，其对所述二维驱动部施力。

8.根据权利要求1所述的波长转换装置，其中，

所述驱动部还包括与平面型音圈马达对应设置的至少1个霍尔传感器，

根据从所述霍尔传感器输出的检测信号对所述二维驱动部进行控制。

9.根据权利要求1所述的波长转换装置，其中，

所述非线性晶体是CLBO晶体。

10.根据权利要求1所述的波长转换装置，其中，

所述移动装置还包括：

D.加热器，其被配置在所述晶体保持架内；以及

E.温度传感器，其被配置在所述晶体保持架内，

根据从所述温度传感器输出的检测信号对所述加热器进行控制。

11.根据权利要求10所述的波长转换装置，其中，

与所述加热器和所述温度传感器连接的多根线缆贯穿插入到所述圆筒型音圈马达所包括的轭铁、磁铁以及线圈的内侧。

12.根据权利要求3所述的波长转换装置，其中，

所述移动装置还包括：

F.密封容器，其具有容器主体和波纹管，

这里，所述容器主体收纳所述二维驱动部，

所述波纹管收纳所述一维驱动部，并沿着所述第3方向进行伸缩。