[发明专利]一种弹性密封件

说明书

用于半导体生产装置的弹性密封件，包括在其上表面的至少一部分上的油墨，其中油墨包括阻隔材料，所述阻隔材料可用于防止或减少弹性密封件因紫外线(UV)辐射导致的退化。

技术领域

本发明涉及一种弹性密封件。特别地，本发明涉及具有在其上沉积的油墨的弹性密封件，该弹性密封件适用于密封应用，特别地适用于在其中使用紫外(UV)辐射的密封应用，诸如半导体生产装置，以例如针对由UV辐射引起的退化提供防护。

背景技术

诸如弹性密封件的密封元件在本领域中是众所周知的。已经开发了各种弹性密封件用于在许多不同行业的密封应用中使用。通过将系统和/或机构接合在一起、通过阻止流体或气体的通过来防止泄露、包含系统内的压力和/或排除污染，密封件可用于提供密封性能。这种弹性密封件需要具有某些性能，诸如具有高密封效率、低表面渗透性和高耐用性。此外，密封件必须表现出优异的机械性能，例如高弹性模量、强度和柔性。当在某些应用中利用时，弹性密封件需要具有特定的附加性能。例如，在石油和天然气工业中，除了对某些气体(例如酸性气体)的耐受性之外，密封件还需要表现出适合于承受宽的范围温度的性能。在半导体应用中，密封件还必须附加地显示出对UV辐射和蚀刻工艺两者的耐受性，诸如那些涉及等离子体和强酸的工艺。

弹性密封件通常被用作半导体生产装置中的高性能密封元件，以防止空气或其他工艺气体进入和/或离开装置。这种弹性密封件必须适于承受在其中利用的条件。具体而言，密封件被用于晶片处理应用(诸如可交联材料的UV固化和低介电层沉积)中，这将弹性密封件暴露于UV辐射。目前在这种应用中被用作密封元件的许多弹性密封件显示出针对其中使用的紫外线辐射的有限防护，使得密封件的暴露表面由于光吸收被损坏并失去其密封性能。因此，半导体生产装置中使用的许多已知弹性密封件表现出有限的寿命，并且需要频繁更换，导致设备的操作效率显著降低并且成本明显增加。

因此，期望生产当暴露于UV辐射时特别是当用于半导体生产装置时表现出增加的寿命的弹性密封件。

发明内容

根据本发明的第一方面，提供了用于半导体生产装置中使用的弹性密封件，该弹性密封件包括在其上表面的至少一部分上的油墨，其中该油墨包括阻隔材料，该阻隔材料可用于防止或减少弹性密封件来自紫外线(UV)辐射的退化。

优选地，根据本发明的弹性密封件大致是细长的，其优选地包括可用于装配到通道中的连续环。优选地，弹性密封件包括沿其长度的纵向轴线。优选地，弹性密封件包括内边缘和外边缘。

优选地，弹性密封件包括下部，并且优选地包括上部。优选地，下部可用于装配到通道中。优选地，下部通过摩擦配合装配到通道中。优选地，弹性密封件的上部从下部可操作地装配到其中的通道伸出。优选地，上部包括上表面。在使用中，上表面可能暴露于UV辐射。

优选地，通道的尺寸对应于弹性密封件的尺寸和形状。优选地，通道的尺寸对应于弹性密封件的下部的尺寸和形状。在一个实施例中，通道可形成大致对应于弹性密封件的连续环的连续环。

弹性密封件大致可以是圆柱形的。弹性密封件在垂直于纵向轴线的横截面上大致可以是圆形的。垂直于纵向轴线的密封件的横截面可以具有宽度，或者如果是圆形的则具有直径，该宽度大致对应于密封件额下部可用于被装配到其中的通道的宽度。垂直于纵向轴线的弹性密封件的大致圆形的横截面可以具有从大约0.3毫米到28毫米的宽度，合适地从大约1毫米到20毫米，诸如从大约1.5毫米到10毫米，例如从大约1.78毫米到6.99毫米，或者如果是圆形的则具有直径。