[发明专利]ESD保护装置及其制造方法

说明书

本公开的ESD保护装置具有：第一放电电极和第二放电电极，它们形成于绝缘性基体的表面或者内部，彼此局部对置；和放电辅助电极，其与上述第一放电电极和上述第二放电电极电连接，上述放电辅助电极包括第一金属粒子、第二金属粒子以及结合剂，第一金属粒子具有由以第一金属作为主成分的核部、和以第二金属的氧化物作为主成分且在至少局部具有空隙的壳部构成的核‑壳构造，第二金属粒子具有由以第一金属作为主成分的核部、和以第二金属的氧化物作为主成分且没有空隙的壳部构成的核‑壳构造。能够提供具有针对绝缘性的较高的可靠性，并且能够使放电起始电压降低的ESD保护装置。

技术领域

本公开涉及ESD保护装置及其制造方法。

背景技术

ESD(Electro-Static Discharge：静电放电)是指带电的导电性的物体(人体等)与其他的导电性的物体(电子设备等)接触，或者与其他的导电性的物体(电子设备等)足够接近时产生剧烈的放电的现象。由于ESD而产生电子设备的损伤、误工作等问题。为了防止这种情况而使用的设备是ESD保护装置，起到不会使放电时产生的过大的电压施加于电子设备的电路那样的作用。

例如，专利文献1记载有：ESD保护装置的放电辅助电极由具有在壳部的至少局部存在空位的核-壳构造的多个金属粒子的集合体构成。根据上述结构，能够提高针对绝缘性的可靠性，并且降低放电起始电压。

专利文献1:日本特许第5585744号公报

然而，存在对能够维持针对绝缘性的较高的可靠性、并且进一步降低放电起始电压的ESD保护装置的需求。

发明内容

因此，本公开的目的在于提供能够具有针对绝缘性的较高的可靠性，并能够使放电起始电压降低的ESD保护装置。

为了解决上述课题，本公开的一方式的ESD保护装置的特征在于，具有：

第一放电电极和第二放电电极，它们形成在绝缘性基体的表面或者内部，彼此局部对置；和放电辅助电极，其与上述第一放电电极和上述第二放电电极电连接，

上述放电辅助电极包括第一金属粒子、第二金属粒子以及结合剂，

第一金属粒子具有由以第一金属作为主成分的核部、和以第二金属的氧化物作为主成分且在至少局部具有空隙的壳部构成的核-壳构造，

第二金属粒子具有由以第一金属作为主成分的核部、和以第二金属的氧化物作为主成分且没有空隙的壳部构成的核-壳构造。

根据上述方式，能够提供具有针对绝缘性的较高的可靠性，并且能够使放电起始电压降低的ESD保护装置。

另外，在本公开的ESD保护装置的一实施方式中，上述第一金属粒子的壳部的厚度为50nm以上且1500nm以下。由此，能够使针对绝缘性的可靠性和放电特性进一步提高。

另外，在本公开的ESD保护装置的其他的实施方式中，上述第二金属粒子的壳部的厚度为1nm以上且不足50nm。由此，电场容易集中，能够使放电起始电压进一步降低。

另外，在本公开的ESD保护装置的其他的实施方式中，上述结合剂是含玻璃质的物质。由此，通过利用含玻璃质的物质使金属粒子间结合，从而能够使针对绝缘性的可靠性进一步提高。

另外，在本公开的ESD保护装置的其他的实施方式中，上述第二金属比上述第一金属容易氧化。由此，能够制造具备具有足够的厚度和均匀性的壳部的核-壳构造的金属粒子。

另外，在本公开的ESD保护装置的其他的实施方式中，上述第一金属是铜或者以铜作为主成分的铜系合金。由此，能够提供廉价且能够进一步提高针对绝缘性的可靠性的ESD保护装置。