[发明专利]ESD保护装置及其制造方法

权利要求书

1.一种ESD保护装置，其特征在于，具有：

第一放电电极和第二放电电极，它们形成于绝缘性基体的表面或者内部，彼此局部对置；和放电辅助电极，其与所述第一放电电极和所述第二放电电极电连接，

所述放电辅助电极包括第一金属粒子、第二金属粒子以及结合剂，

第一金属粒子具有由以第一金属作为主成分的核部、和以第二金属的氧化物作为主成分且在至少局部具有空隙的壳部构成的核-壳构造，

第二金属粒子具有由以第一金属作为主成分的核部、和以第二金属的氧化物作为主成分且没有空隙的壳部构成的核-壳构造。

2.根据权利要求1所述的ESD保护装置，其特征在于，

所述第一金属粒子的壳部的厚度为50nm以上且1500nm以下。

3.根据权利要求1或2所述的ESD保护装置，其特征在于，

所述第二金属粒子的壳部的厚度为1nm以上且不足50nm。

4.根据权利要求1或2所述的ESD保护装置，其特征在于，

所述结合剂是含玻璃质的物质。

5.根据权利要求1或2所述的ESD保护装置，其特征在于，

所述第二金属比所述第一金属容易氧化。

6.根据权利要求1或2所述的ESD保护装置，其特征在于，

所述第一金属是铜或者以铜作为主成分的铜系合金。

7.根据权利要求1或2所述的ESD保护装置，其特征在于，

所述第二金属的氧化物是从由氧化铝、氧化硅、氧化镁以及氧化镍构成的组中选择出的至少一种。

8.根据权利要求1或2所述的ESD保护装置，其特征在于，

所述核部包括所述第二金属，作为副成分。

9.根据权利要求1或2所述的ESD保护装置，其特征在于，

第二金属粒子占金属粒子整体的含有率为2体积％以上且35体积％以下。

10.根据权利要求1或2所述的ESD保护装置，其特征在于，

具有形成于所述绝缘性基体的内部的空洞部，所述第一放电电极和所述第二放电电极形成为彼此局部隔着所述空洞部对置，并且，所述放电辅助电极形成为至少局部在所述空洞部暴露，还具有与所述第一放电电极和所述第二放电电极分别电连接的第一外部端子电极和第二外部端子电极。

11.一种ESD保护装置的制造方法，所述ESD保护装置具有形成为与第一放电电极和第二放电电极电连接的放电辅助电极，该ESD保护装置的制造方法的特征在于，

使用放电辅助电极用糊料形成所述放电辅助电极，并对所述放电辅助电极进行烧成，使第二金属在合金粒子的表面移动，并使形成了移动的所述第二金属氧化，所述放电辅助电极用糊料包括：由第一金属与比所述第一金属容易氧化的所述第二金属的所述合金粒子构成的第一金属粉末、和包括以第一金属作为主成分的核部被以第二金属的氧化物作为主成分的壳部形成了覆盖的金属粒子的第二金属粉末。

12.根据权利要求11所述的制造方法，其特征在于，

通过利用机械融合法，由第二金属的氧化物覆盖以第一金属作为主成分的金属粒子，来制造所述第二金属粉末。

13.根据权利要求11所述的制造方法，其特征在于，

所述第一金属粉末由雾化法制造。

14.根据权利要求11～13中任一项所述的制造方法，其特征在于，

所述ESD保护装置构成为：具有绝缘性基体，在该绝缘性基体的内部形成所述第一放电电极和所述第二放电电极，并使所述第一放电电极和所述第二放电电极彼此局部对置，

在该制造方法中，

准备包括第一陶瓷生片和第二陶瓷生片的多个陶瓷生片，

将所述放电辅助电极、所述第一放电电极以及所述第二放电电极形成在第一陶瓷生片之上，

形成烧毁层，并使该烧毁层覆盖所形成的所述第一放电电极和所述第二放电电极间的间隙，

在所述第一陶瓷生片之上层叠所述第二陶瓷生片，并使所述第二陶瓷生片覆盖所形成的所述放电辅助电极、所述第一放电电极、所述第二放电电极以及所述烧毁层，

形成第一外部端子电极和第二外部端子电极，并使该第一外部端子电极和第二外部端子电极与层叠后的所述第一放电电极和所述第二放电电极分别电连接，

而且，在所述烧成时，使所述烧毁层烧毁，在所述绝缘性基体的内部形成空洞部。