[发明专利]主轴装置

权利要求书

1.一种主轴装置，其特征在于，包括：

旋转轴，多个涡轮叶片沿整个圆周方向设置；

壳体，容纳该旋转轴；以及

气体轴承，安装在该壳体，通过气体的供给，对所述旋转轴相对于所述壳体以非接触方式进行浮起支承，

所述主轴装置通过向所述多个涡轮叶片喷出气体从而对所述旋转轴进行旋转驱动，

所述多个涡轮叶片与该气体轴承在轴向重叠。

2.如权利要求1所述的主轴装置，其特征在于，

还包括磁体，向轴向吸引设置在所述旋转轴的凸缘部，

所述气体轴承向与该气体轴承对置的所述旋转轴的周面以及所述凸缘部的轴向侧面喷射气体，

所述旋转轴通过所述磁体和所述气体轴承，相对于所述壳体被支承在径向和推力方向。

3.如权利要求1所述的主轴装置，其特征在于，

所述多个涡轮叶片相对于所述气体轴承配置在径向外侧。

4.如权利要求3所述的主轴装置，其特征在于，

还包括磁体，向轴向吸引设置在所述旋转轴的凸缘部，

所述气体轴承向所述旋转轴的内周面以及所述凸缘部的轴向侧面喷射气体，

所述旋转轴通过所述磁体和所述气体轴承，相对于所述壳体被支承在径向和推力方向。

5.如权利要求1所述的主轴装置，其特征在于，

所述多个涡轮叶片相对于所述气体轴承配置在径向内侧。

6.如权利要求5所述的主轴装置，其特征在于，

还包括磁体，向轴向吸引设置在所述旋转轴的凸缘部，

所述气体轴承向所述旋转轴的外周面以及所述凸缘部的轴向侧面喷射气体，

所述旋转轴通过所述磁体和所述气体轴承，相对于所述壳体被支承在径向和推力方向。

7.如权利要求1～6的任一项所述的主轴装置，其特征在于，

所述气体轴承在轴向的多个位置供给气体。

8.一种主轴装置，其特征在于，包括：

旋转轴，多个涡轮叶片沿整个圆周方向设置；

壳体，容纳该旋转轴；

气体轴承，安装在该壳体，通过气体的供给，对所述旋转轴相对于所述壳体以非接触方式进行浮起支承，

所述主轴装置向所述多个涡轮叶片喷出气体从而对所述旋转轴进行旋转驱动，

在所述旋转轴设置有安装工件的工件安装部，

所述工件安装部与该气体轴承在轴向重叠。

9.如权利要求8所述的主轴装置，其特征在于，

所述旋转轴包括：形成所述多个涡轮叶片的大直径圆筒部；构成所述工件安装部的小直径圆筒部；以及将所述大直径圆筒部与所述小直径圆筒部连结并在径向延伸的凸缘部，

所述大直径圆筒部和所述小直径圆筒部相对于所述凸缘部分别在轴向一侧延伸。

10.如权利要求9所述的主轴装置，其特征在于，

所述工件安装部具有在所述小直径圆筒部的内周面形成的锥面和安装用螺丝。

11.如权利要求8～10的任一项所述的主轴装置，其特征在于，

所述多个涡轮叶片相对于所述气体轴承配置在径向外侧，与该气体轴承在轴向重叠。

12.如权利要求11所述的主轴装置，其特征在于，

还包括磁体，向轴向吸引设置在所述旋转轴的凸缘部，

所述气体轴承向所述旋转轴的内周面以及所述凸缘部的轴向侧面喷射气体，

所述旋转轴通过所述磁体和所述气体轴承，相对于所述壳体被支承在径向和推力方向。

13.如权利要求8～10的任一项所述的主轴装置，其特征在于，

所述多个涡轮叶片相对于所述气体轴承配置在径向内侧，与该气体轴承在轴向重叠。