[发明专利]再装填管储料器

说明书

本发明提供用于保管及管理单晶提拉装置中使用的再装填管的再装填管储料器，其特征在于，具有：进行再装填管向再装填管储料器内入库及再装填管从再装填管储料器内出库的入出库部；对再装填管进行保管的保管手段；将原料填充于再装填管内的原料填充手段；对已填充于再装填管内的原料的重量进行秤量的秤量手段；可将从入出库部入库的再装填管在入出库部、原料填充手段及保管手段之间搬送的搬送手段；以及，对利用保管手段进行保管的再装填管的保管信息一并进行管理的管理手段。由此，可提供一种再装填管储料器，其能够以节省空间的方式对再装填管进行保管及管理，能够防止所需的再装填管的搜索需要时间、或者发生再装填管的错取。

技术领域

本发明涉及一种用于对硅等的单晶提拉装置中使用的再装填管进行保管及管理的再装填管储料器。

背景技术

例如，为了利用切克劳斯基法连续提拉硅等的单晶，每当坩埚内的原料融液达到规定量以下时，需要将作为原料的多晶硅块依次填充至坩埚内。

为了将原料填充至该坩埚内，以往使用了再装填管。该再装填管为圆柱状，可在其中填充原料(例如多晶硅)。

在将多晶原料填充于再装填管内时，将再装填管逐个搭载于专用的台车(例如，参照专利文献1)，并在该台车上对多晶原料进行计量，同时填充规定的量(例如，参照专利文献2)。

而且，已结束原料填充的再装填管以搭载于台车的状态直接进行保管及管理。此外，使用原料的种类、填充量等信息管理是手动实施的。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：专利公开平成5-278617号公报

专利文献2：专利公开平成9-227271号公报

发明内容

(一)要解决的技术问题

因此，为了再装填管的保管及管理，需要与再装填管的个数相当的台车，并且需要停放台车的空间。此外，对于所需的再装填管的取出而言需要搜索该件的时间，并存在发生错取的可能性。

本发明是鉴于上述的问题而完成的，其目的在于，提供一种再装填管储料器，其能够以节省空间的方式对再装填管进行保管及管理，能够防止所需的再装填管的搜索需要时间、或者发生再装填管错取的问题。

(二)技术方案

为了实现上述目的，根据本发明，是一种用于保管及管理单晶提拉装置中使用的再装填管的再装填管储料器，其特征在于，具有：

进行再装填管向再装填管储料器内入库及所述再装填管从所述再装填管储料器内出库的入出库部；对所述再装填管进行保管的保管手段；将原料填充于所述再装填管内的原料填充手段；对已填充于所述再装填管内的所述原料的重量进行秤量的秤量手段；可将从所述入出库部入库的所述再装填管在所述入出库部、所述原料填充手段及所述保管手段之间搬送的搬送手段；以及，对利用所述保管手段进行保管的所述再装填管的保管信息一并进行管理的管理手段。

若为这样的再装填管储料器，则能够以节省空间的方式对再装填管进行保管及管理。此外，由于对再装填管的保管信息一并进行管理，因此能够防止所需的再装填管的搜索需要时间、或者发生再装填管的错取。

此时，优选地，所述入出库部可将空的所述再装填管以悬挂的状态从所述再装填管的搬运用的台车传递至所述搬送手段，而且可将填充有所述原料的所述再装填管以悬挂的状态从所述搬送手段传递至所述台车。

若为这样的再装填管储料器，则能够顺利地进行搬送手段与台车之间的再装填管的传递。

另外，此时，优选地，所述搬送手段具有搬送机，所述搬送机可将所述再装填管以悬挂的状态在所述入出库部、所述原料填充手段及所述保管手段之间搬送。