[发明专利]再装填管储料器有效
申请号: | 201680077190.4 | 申请日: | 2016-12-12 |
公开(公告)号: | CN108431307B | 公开(公告)日: | 2020-11-03 |
发明(设计)人: | 矢岛涉 | 申请(专利权)人: | 信越半导体株式会社 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;B65G1/00;C30B29/06 |
代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人: | 张晶;谢顺星 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 装填 料器 | ||
1.一种再装填管储料器,其是用于保管及管理单晶提拉装置中使用的再装填管的再装填管储料器,其特征在于,具有:
进行再装填管向再装填管储料器内入库及所述再装填管从所述再装填管储料器内出库的入出库部;对所述再装填管进行保管的保管手段;将原料填充于所述再装填管内的原料填充手段;对已填充于所述再装填管内的所述原料的重量进行秤量的秤量手段;可将从所述入出库部入库的所述再装填管在所述入出库部、所述原料填充手段及所述保管手段之间搬送的搬送手段;以及,对利用所述保管手段进行保管的所述再装填管的保管信息一并进行管理的管理手段。
2.根据权利要求1所述的再装填管储料器,其特征在于,所述入出库部可将空的所述再装填管以悬挂的状态从所述再装填管的搬运用的台车传递至所述搬送手段,而且可将填充有所述原料的所述再装填管以悬挂的状态从所述搬送手段传递至所述台车。
3.根据权利要求1所述的再装填管储料器,其特征在于,所述搬送手段具有搬送机,所述搬送机可将所述再装填管以悬挂的状态在所述入出库部、所述原料填充手段及所述保管手段之间搬送。
4.根据权利要求2所述的再装填管储料器,其特征在于,所述搬送手段具有搬送机,所述搬送机可将所述再装填管以悬挂的状态在所述入出库部、所述原料填充手段及所述保管手段之间搬送。
5.根据权利要求1所述的再装填管储料器,其特征在于,所述原料填充手段具有倾斜手段,所述倾斜手段可将所述再装填管倾斜至规定的角度,使得在将所述原料填充于所述再装填管内时,所述原料的填充易于进行。
6.根据权利要求2所述的再装填管储料器,其特征在于,所述原料填充手段具有倾斜手段,所述倾斜手段可将所述再装填管倾斜至规定的角度,使得在将所述原料填充于所述再装填管内时,所述原料的填充易于进行。
7.根据权利要求3所述的再装填管储料器,其特征在于,所述原料填充手段具有倾斜手段,所述倾斜手段可将所述再装填管倾斜至规定的角度,使得在将所述原料填充于所述再装填管内时,所述原料的填充易于进行。
8.根据权利要求4所述的再装填管储料器,其特征在于,所述原料填充手段具有倾斜手段,所述倾斜手段可将所述再装填管倾斜至规定的角度,使得在将所述原料填充于所述再装填管内时,所述原料的填充易于进行。
9.根据权利要求1所述的再装填管储料器,其特征在于,所述原料填充手段具有使所述再装填管旋转和/或摆动的功能,使得在将所述原料填充于所述再装填管内时,所述原料被均匀填充于所述再装填管内。
10.根据权利要求2所述的再装填管储料器,其特征在于,所述原料填充手段具有使所述再装填管旋转和/或摆动的功能,使得在将所述原料填充于所述再装填管内时,所述原料被均匀填充于所述再装填管内。
11.根据权利要求3所述的再装填管储料器,其特征在于,所述原料填充手段具有使所述再装填管旋转和/或摆动的功能,使得在将所述原料填充于所述再装填管内时,所述原料被均匀填充于所述再装填管内。
12.根据权利要求4所述的再装填管储料器,其特征在于,所述原料填充手段具有使所述再装填管旋转和/或摆动的功能,使得在将所述原料填充于所述再装填管内时,所述原料被均匀填充于所述再装填管内。
13.根据权利要求5所述的再装填管储料器,其特征在于,所述原料填充手段具有使所述再装填管旋转和/或摆动的功能,使得在将所述原料填充于所述再装填管内时,所述原料被均匀填充于所述再装填管内。
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