[发明专利]检查装置及检查方法

权利要求书

1.一种检查装置，其特征在于，

是进行测量对象物的检查的检查装置，

具备：

光输出部，其输出具有第1波长的第1光、及具有与所述第1波长不同的第2波长的第2光；

磁光晶体，其具有反射所述第1光的反射面，且以该反射面与所述测量对象物相对的方式配置；

光检测部，其检测所述第1光及所述第2光；及

导光光学系统，其由多个光学元件构成，将所述第1光及所述第2光朝向所述磁光晶体及所述测量对象物进行导光，且将由所述磁光晶体反射的所述第1光、与由所述测量对象物反射的所述第2光朝向所述光检测部进行导光，

所述导光光学系统具有：

将所述第1光的一个偏光成分导光至所述光检测部的偏光控制元件，

将所述第2光的一个偏光成分导光至所述光检测部的偏光控制元件，以及

在将通过所述磁光晶体反射的所述第1光和通过所述测量对象物反射的所述第2光朝向所述光检测部进行导光的光路中，配置于所述偏光控制元件的前段侧的、以所述第1光及所述第2光选择性地入射至所述光检测部的方式，切换由所述多个光学元件形成的光路的光路切换元件，

所述光路切换元件由分色镜(61)构成。

2.如权利要求1所述的检查装置，其特征在于，

所述光输出部具有出射所述第1光的第1光源、与出射所述第2光的第2光源。

3.如权利要求1所述的检查装置，其特征在于，

所述光检测部具有检测所述第1光的第1光传感器、与检测所述第2光的第2光传感器。

4.如权利要求2所述的检查装置，其特征在于，

所述光检测部具有检测所述第1光的第1光传感器、与检测所述第2光的第2光传感器。

5.如权利要求1～4中任一项所述的检查装置，其特征在于，

所述导光光学系统还具有将所述第1光的另一个偏光成分导光至所述光检测部的偏光控制元件。

6.如权利要求1～4中任一项所述的检查装置，其特征在于，

所述测量对象物是半导体器件。

7.如权利要求5所述的检查装置，其特征在于，

所述测量对象物是半导体器件。

8.如权利要求1～4中任一项所述的检查装置，其特征在于，

所述第1波长是短于所述第2波长的波长。

9.如权利要求5所述的检查装置，其特征在于，

所述第1波长是短于所述第2波长的波长。

10.如权利要求6所述的检查装置，其特征在于，

所述第1波长是短于所述第2波长的波长。

11.如权利要求7所述的检查装置，其特征在于，

所述第1波长是短于所述第2波长的波长。

12.一种检查方法，其特征在于，

是使用以与测量对象物相对的方式配置的磁光晶体进行所述测量对象物的检查的检查方法，

具备将具有第1波长的第1光、及具有与所述第1波长不同的第2波长的第2光通过导光光学系统导光至所述磁光晶体及所述测量对象物，且检测由所述磁光晶体或所述测量对象物反射的所述第1光及所述第2光的步骤，

所述步骤包括：

自光输出部输出所述第1光，且将所述第1光通过分色镜进行导光，以光检测部检测所述第1光的步骤；

以所述第2光入射至所述光检测部的方式、通过所述分色镜来选择性地切换所述导光光学系统的光路的步骤；及

自所述光输出部输出所述第2光，且将所述第2光通过所述分色镜进行导光，以所述光检测部检测所述第2光的步骤。