[发明专利]多点测量用应变传感器及其制造方法

说明书

课题为提供一种不会发生因贴合时的错位而产生的导通不良并可以降低材料费的多点测量用应变传感器及其制造方法。作为解决课题的方法，本发明的多点测量用应变传感器(31)具备基材膜(34)、形成于上述基材膜(34)的第一主面(34a)的多个应变感测部(33)、在上述基材膜(34)的第二主面(34b)上与各上述应变感测部(33)对应形成并在上述基材膜(34)的外缘附近具有外部连接端子部(37b、38b)的引绕线路(37、38)以及填充于导通孔(39、40)内来连接各上述应变感测部(33)以及与其对应的上述引绕线路(37、38)的导电糊(41、42)。

技术领域

本发明涉及一种多点测量用应变传感器及其制造方法。

背景技术

就高度发展时期配备的社会公共设施的老化问题通过引入适当的管理维护方法以实现延长使用寿命、维护管理和更新的总成本的削减和平均化已经成为一个需要解决的问题。充分利用传感器、IT等技术使有效掌控社会公共设施状态成为可能的监控技术的开发推进备受期待。

作为监控技术的测量方式有通过将传感器和相机等设置在构造物(混凝土构造物、钢构造物、土构造、地基、其他)上随时监控的固定型和使用设置有传感器和相机等的移动体(车辆等)定期监控的移动型，但现在的主流是固定型。作为固定型的代表性例子可以列举如下：在混凝土构造物(隧道壁面、路面等)以及钢构造物(桥梁等)上设置应变传感器，监控应变量的经年变化。

作为应用于此类固定型监控技术的应变传感器，如，专利文献1中公开了一种多点测量移动体的行走用车轮接地的路面的应变的传感器。该可多点测量的应变传感器1，具体而言，通过在柔性基板2的背面贴合粘贴有多个电阻式应变仪3的应变仪底板4，并进一步在柔性基板2的表面上贴合片状绝缘构件(覆盖膜)5以构成传感器构造部6(参考图13、图14)。在柔性基板2上设置有导通于各电阻式应变仪3的应变感测部13的两端部的导线连接部(舌片)14a、14b中的导线连接部14a的薄膜状导体(引绕线路)18和导通于导线连接部14b的薄膜状导体(引绕线路)19、20。应变仪3位于路面中的车轮的接地区域上，传感器6的应变仪底板4以使薄膜状导体18、19、20的端部18b、19b、20b位于在车轮的宽度方向上偏离接地区域的区域中的方式设置在路面上。

此外，专利文献1公开了多种实施方式，例如图13、图14所示的柔性基板2是由第一层基板7和第二层基板8构成的两层构造。但是亦可以使用单层的柔性基板代替。另外，虽然在图14中使用了具有应变仪底板12以及应变感测部13的多个应变仪3，并且将这些应变仪3粘贴在了应变仪底板4的表面，但是，与此不同，也可以在应变仪底板4的表面上通过光刻等直接形成多个应变感测部13。进一步，在图13、图14中，分别将应变仪引线15a、15b结线到各应变感测部13的两端部的舌片14a、14b，并把舌片14a和薄膜状导体18、以及舌片14b和薄膜状导体19、20经由应变仪引线15a、15b导通；但是，与此不同，执行舌片14a和薄膜状导体18的导通、以及舌片14b和薄膜状导体19、20的导通也可以不使用应变仪引线15a、15b。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利申请公开第2009-79976号公报。

发明内容

发明所要解决的课题

但是，专利文献1中记载的应变传感器存在如下问题：具有多个应变感测部13的应变仪底板4和设置有对应各应变感测部13的薄膜状导体(引绕线路)18、19、20的柔性基板2贴合时发生偏移，引起应变感测部13的两端部的导线连接部14a、14b和柔性基板2的薄膜状导体(引绕线路)18、19、20之间的导通不良。并且，因为层构成比较多，存在材料费以及制造成本格外高的问题。

因此，本发明的目的在于提供一种不会发生因贴合时偏移而导通不良、且可以降低材料费的多点测量用应变传感器及其制造方法。

用于解决课题的方案