[发明专利]载置于在装载端口设置的载置台上的适配器、及装载端口

说明书

适配器(20)所具备的匣尺寸检测传感器(41、42)具有用于在水平方向上照射检测波的作为辨别传感器照射部的发光部(41a、42a)和用于检测从该辨别传感器照射部照射来的检测波的作为辨别传感器检测部的受光部(41b、42b)，通过从所述辨别传感器照射部朝向匣(51、52)的侧面照射检测波来辨别匣(51、52)的尺寸。

技术领域

本发明涉及载置于在半导体的制造等所采用的装载端口设置的载置台上的适配器、及装载端口。

背景技术

作为关于上述的适配器的以往技术，例如有专利文献1所记载的内容。该以往技术如下地构成。在适配器(匣适配器)的上表面、即适配器的匣载置面设置由检测杆和光学传感器构成的匣识别部，根据来自该匣识别部的启闭信号来识别载置在适配器上的匣的种类(尺寸)。

作为识别(检测)匣的尺寸的部件，也有专利文献2所记载的内容。在专利文献2中，针对要检测的每个匣在载置台安装作为匣尺寸检测部件的按压传感器，根据来自这些按压传感器的启闭信号来检测载置在载置台上的匣的尺寸。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2015－50410号公报

专利文献2：日本特开2015－170689号公报

发明内容

发明要解决的问题

专利文献1、2所记载的用于识别(检测)匣的种类(尺寸)的方法是基于匣的底面的形状·尺寸、即匣的底面信息进行的匣的种类(尺寸)的辨别方法。

但是，例如在半导体的制造工序中使用的FFC(Film Flame Carrier)用匣和箍环(Hoop Ring)用匣这样的匣并未根据由以半导体的制造设备厂商、材料厂商等为成员的国际行业团体即SEMI(Semiconductor Equipment and Materials International)制定的SEMI规格(Semiconductor Equipment and Materials International Standard)等充分地规格化，因此根据生产匣的公司的不同，有时匣的底面的形状·尺寸不同、或者匣底面的一部分缺失，根据匣的底面信息有时不能辨别匣的种类(尺寸)。

本发明即是鉴于上述实际情况而完成的，其目的在于提供一种具有即便不依据匣(容器)的底面信息也能够辨别容器的尺寸的结构的适配器。

用于解决问题的方案

本发明的适配器载置于在装载端口设置的载置台上，能够载置分别适合被处理物的尺寸的、用于收纳所述被处理物的多个尺寸的容器，该适配器包括：容器定位部，其设于供所述容器载置的载置板的上表面；以及多个容器辨别传感器，其用于辨别所述容器的尺寸。所述容器辨别传感器具有用于在水平方向上照射检测波的辨别传感器照射部和用于检测从该辨别传感器照射部照射来的检测波的辨别传感器检测部，从所述辨别传感器照射部朝向所述容器的侧面照射检测波。

采用该结构，由于能够通过朝向容器的侧面照射检测波来辨别容器的尺寸，因此即便不依据容器的底面信息，也能够辨别容器的尺寸。

本发明还优选的是，该适配器还具备容器落位传感器，该容器落位传感器用于检测是否载置有所述容器，所述容器落位传感器具有用于在水平方向上照射检测波的落位传感器照射部和用于检测从该落位传感器照射部照射来的检测波的落位传感器检测部，从所述落位传感器照射部朝向所述容器的侧面照射检测波。

采用该结构，能够确认容器载置于适配器的状况。此外，由于朝向容器的侧面照射检测波，因此即便不依据容器的底面信息，也能够确认容器载置于适配器的状况。