[发明专利]装载端口

说明书

装载端口(1)所具备的映射传感器(30)是用于对收纳于匣(51(52))的FFC(被处理物的一例子)进行映射的传感器。映射传感器(30)具有传感器部(31)和用于使该传感器部(31)升降的升降部(32)。映射传感器(30)配置在装载端口(1)的基座(10)的与输送空间的那一侧相反的一侧。

技术领域

本发明涉及一种为了相对于输送空间搬入搬出晶圆等被处理物而载置用于收纳该被处理物的容器的装载端口。

背景技术

上述的容器存在被称作FOUP(Front-Opening Unified Pod)的具有可开闭的盖的密闭型的容器、被称作开放式匣的开放型的容器。在这些容器的内侧设有多层的架板，晶圆等多个被处理物在上下方向上隔开恒定的间隔地以水平姿势收纳在该容器中。在此，一般来讲，装载端口具有映射功能这样的功能。映射功能是检测收纳于容器内的晶圆等多个被处理物在各层的有无、倾斜等收纳状态的功能。

作为关于上述的映射功能的技术，例如有专利文献1所述的技术。该以往技术如下地构成。在装载端口的背面侧(输送室内)设置具有映射传感器的可升降移动的映射装置，使映射装置与用于分隔输送空间和外部的门(装载端口的门)一同升降移动。映射装置具有摆动框，通过使摆动框向开放式匣、FOUP这样的容器侧摆动，从而将映射传感器插入到容器中。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2015－50410号公报

发明内容

发明要解决的问题

上述的以往技术存在以下的问题。由于构成专利文献1所述的映射装置的升降机构、摆动机构位于装载端口的背面侧(输送室内)，因此自这些机构部分会产生微粒(微小的灰尘)。此外，由因映射装置的升降、摆动而产生的气流引起附着于门、输送室的微粒在输送室内飞扬。由于输送室内必须维持清洁的环境(洁净的环境)，因此输送室内的微粒的产生、飞扬并不理想。此外，基于映射的结果，一旦发现错误，则必须再次将打开的门关闭。收纳在映射中发现错误的被处理物的容器要进行更换，但与没有门的关闭动作的情况相比，容器的更换会延迟与再次将打开的门关闭这样的动作相应的量。

本发明即是鉴于上述实际情况而完成的，其目的在于提供一种这样的装载端口，该装载端口具有能够避免由映射动作引起在输送空间内(输送室内)产生微粒、而且不需要由映射动作引起的装载端口的门的开闭的映射功能。

用于解决问题的方案

本发明的装载端口包括：基座，其竖立配置，该基座构成用于划分输送空间的分隔壁的一部分，并具有用于相对于所述输送空间搬入搬出被处理物的基座开口部；载置台，其设于所述基座的与所述输送空间的那一侧相反的一侧，该载置台供收纳多个所述被处理物的容器载置；以及门，其用于进行所述基座开口部的开闭。该装载端口包括映射传感器，该映射传感器具有传感器部和用于使该传感器部升降的升降部，用于对收纳于所述容器的所述被处理物进行映射，该映射传感器配置在所述基座的与所述输送空间的那一侧相反的一侧。

采用该结构，由于具有传感器部和用于使该传感器部升降的升降部的映射传感器并不是配置在输送空间中，而是配置在输送空间之外，因此不会由映射动作引起在输送空间内产生微粒。此外，由于装载端口的门的开闭与映射动作分离，因此能够不需要由映射动作引起的该门的开闭。

另外，采用上述结构，也能获得以下的效果。不会由映射传感器缩窄利用设置于输送空间的被处理物输送机器人输送被处理物的输送区域。