[发明专利]颗粒状物质的测定装置用部件及其制造方法

说明书

颗粒状物质的测定装置用部件具备：由陶瓷构成且在内部具有供气体流动的流路的基部；以将所述流路分割成多个的方式设置在所述流路的内部且由多孔质陶瓷构成的过滤部；以及以夹着所述过滤部的方式设置于所述基部的静电电容形成用的一对电极，所述基部的所述流路的壁面比所述过滤部的表面致密。

技术领域

本发明涉及颗粒状物质的测定装置用部件及其制造方法。

背景技术

作为为了测定从柴油发动机排出的废气中的颗粒状物质的量而使用的颗粒状物质的测定装置用部件，例如已知有日本特开2014-159783号公报(以下称为专利文献1)所记载的颗粒状物质的测定装置用部件。专利文献1所记载的颗粒状物质的测定装置用部件具备：由多孔质性的隔壁划分成多个单元的过滤器；以及在将至少一个单元设为测定用单元时夹着该单元而设置的一对电极。而且，在专利文献1所记载的颗粒状物质的测定装置用部件中，基于一对电极间的静电电容，算出被过滤器捕获到的废气中的颗粒状物质的堆积量。

然而，在使用专利文献1所记载的颗粒状物质的测定装置用部件而测定出颗粒状物质的堆积量的情况下，难以提高实际的堆积量与测定值之间的线性度。作为难以提高线性度的原因，例如举出如下方面：在单元的隔壁中的与一对电极的排列方向垂直的面上堆积颗粒状物质的情况以及在单元的隔壁中的与一对电极的排列方向平行的面上堆积颗粒状物质的情况下，即便颗粒状物质的量相同，电极间的静电电容的变化也不同。

发明内容

颗粒状物质的测定装置用部件具有：由陶瓷构成且在内部具有供气体流动的流路的基部；以将所述流路分割成多个的方式设置在所述流路的内部且由多孔质陶瓷构成的过滤部；以及以夹着所述过滤部的方式设置于所述基部的静电电容形成用的一对电极，所述基部的所述流路的壁面比所述过滤部的表面致密。

附图说明

图1是颗粒状物质的测定装置用部件的立体图。

图2是表示图1所示的颗粒状物质的测定装置用部件的纵剖面的剖视图。

图3是表示图1所示的颗粒状物质的测定装置用部件的横剖面的剖视图。

图4是表示图1所示的颗粒状物质的测定装置用部件中的电极的布线图案的示意图。

图5是表示颗粒状物质的测定装置用部件的变形例中的电极的布线图案的示意图。

图6是表示颗粒状物质的测定装置用部件的变形例的纵剖面的剖视图。

图7是表示颗粒状物质的测定装置用部件的变形例的横剖面的剖视图。

图8是表示颗粒状物质的测定装置用部件的变形例的纵剖面的剖视图。

图9是表示颗粒状物质的测定装置用部件的变形例的纵剖面的剖视图。

图10是表示颗粒状物质的测定装置用部件的变形例的纵剖面的剖视图。

图11是表示颗粒状物质的测定装置用部件的变形例中的电极的布线图案的示意图。

图12是表示颗粒状物质的测定装置用部件的变形例中的电极的布线图案的示意图。

图13是表示颗粒状物质的测定装置用部件的制造方法的示意图。

图14是表示颗粒状物质的测定装置用部件的变形例的纵剖面的剖视图。

图15是表示颗粒状物质的测定装置用部件的变形例的纵剖面的剖视图。

图16是表示颗粒状物质的测定装置用部件的变形例的纵剖面的剖视图。

图17是表示颗粒状物质的测定装置用部件的变形例的纵剖面的剖视图。

图18是表示颗粒状物质的测定装置用部件的变形例的纵剖面的剖视图。