[发明专利]颗粒状物质的测定装置用部件及其制造方法

权利要求书

1.一种颗粒状物质的测定装置用部件，其特征在于，具备：

基部，所述基部由陶瓷构成，且在内部具有供气体流动的流路；

过滤部，所述过滤部以将所述流路分割成多个的方式设置在所述流路的内部，且由多孔质陶瓷构成；以及

静电电容形成用的一对电极，所述一对电极以夹着所述过滤部的方式设置于所述基部，

所述基部的所述流路的壁面比所述过滤部的表面致密。

2.一种颗粒状物质的测定装置用部件，其特征在于，具备：

一对基部，所述一对基部是由陶瓷构成的板状的构件，且以主面对置的方式并列设置；

过滤部，所述过滤部以对所述一对基部间的空间进行分割而形成流路的方式设置，且由多孔质陶瓷构成；以及

静电电容形成用的一对电极，所述一对电极分别设置于所述一对基部，且以夹着所述过滤部的方式设置，

所述一对基部的对置的所述主面比所述过滤部的表面致密。

3.根据权利要求1或2所述的颗粒状物质的测定装置用部件，其中，

所述电极埋设于所述基部。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的颗粒状物质的测定装置用部件，其中，

所述基部以及所述过滤部一体地形成。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的颗粒状物质的测定装置用部件，其中，

所述基部以及所述过滤部由相同的陶瓷构成。

6.根据权利要求5所述的颗粒状物质的测定装置用部件，其中，

所述基部以及所述过滤部由氧化铝构成。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的颗粒状物质的测定装置用部件，其中，

所述电极具有线状的布线图案，并且所述电极沿着所述过滤部设置。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的颗粒状物质的测定装置用部件，其中，

所述电极具有线状的布线图案，并且所述电极设置在所述基部中的夹着所述过滤部的区域以及未夹着所述过滤部的区域，在俯视时，所述电极中的位于未夹着所述过滤部的区域的部分的宽度比位于夹着所述过滤部的区域的部分的宽度窄。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的颗粒状物质的测定装置用部件，其中，

所述颗粒状物质的测定装置用部件具有多孔度互不相同的多个所述过滤部。

10.根据权利要求9所述的颗粒状物质的测定装置用部件，其中，

所述多孔度是气孔径。

11.根据权利要求9所述的颗粒状物质的测定装置用部件，其中，

所述多孔度是气孔率，在与所述流路的长度方向垂直的剖视下，位于外侧的所述过滤部的气孔率比位于内侧的所述过滤部的气孔率大。

12.根据权利要求1至11中任一项所述的颗粒状物质的测定装置用部件，其中，

在与所述流路的长度方向垂直的剖视下，由所述基部中的面向所述流路的部分与所述过滤部中的面向所述流路的壁面构成的角部形成为弧状。

13.根据权利要求12所述的颗粒状物质的测定装置用部件，其中，

所述角部的形状呈弧状的区域在所述流路的长度方向上连续。

14.根据权利要求1至13中任一项所述的颗粒状物质的测定装置用部件，其中，

在与所述流路的长度方向垂直的剖视下，在所述过滤部中的面向所述流路的壁面设置有凹部。

15.根据权利要求1至13中任一项所述的颗粒状物质的测定装置用部件，其中，

在与所述流路的长度方向垂直的剖视下，所述过滤部中的面向所述流路的壁面形成为中央凹陷的弧状。