[发明专利]压印装置及方法

权利要求书

1.一种压印装置，其特征在于，包括：

表面改性部，其对形成有图案的模表面进行等离子处理；

结合部，其以使进行了等离子处理的所述模的图案能够被冲压于基板的方式，结合所述模和所述基板；

分离部，其分离被结合的所述模和所述基板；以及

移送部，其移送所述模，

所述移送部将在所述分离部分离的所述模移送至所述表面改性部，以能够对所述模进行等离子处理而再使用所述模。

2.根据权利要求1所述的压印装置，其特征在于，

所述等离子是对包括空气、氩气、氧气以及氮气中的一个以上的气体施加RF而产生的。

3.根据权利要求1所述的压印装置，其特征在于，

还包括控制部，其对所述模与所述基板的结合或分离次数进行计数，并根据所设定的次数控制所述移送部将所述模更换为新的模。

4.根据权利要求1所述的压印装置，其特征在于，

还包括控制部，其检查在所述分离部分离的模表面状态，根据所述表面状态控制所述移送部将所述模更换为新的模。

5.根据权利要求1所述的压印装置，其特征在于，

所述表面改性部、结合部以及分离部相互间隔规定间距而沿所述模的移送方向依次排列。

6.根据权利要求1所述的压印装置，其特征在于，

所述结合部、表面改性部以及分离部相互间隔规定间距而沿所述模的移送方向依次排列。

7.根据权利要求1所述的压印装置，其特征在于，

所述模包括相互间隔规定间距而设置于所述移送部上的第一模和第二模，

所述表面改性部包括隔着所述结合部分别间隔规定间距而设置的第一表面改性部和第二表面改性部，

所述分离部包括隔着所述结合部和所述表面改性部分别间隔规定间距而设置的第一分离部和第二分离部，

所述移送部将在所述第一、第二分离部中的任一个分离的所述第一或第二模移送至所述第一、第二表面改性部中的任一个。

8.根据权利要求1所述的压印装置，其特征在于，

还包括涂覆部，其用树脂涂覆所述基板上部。

9.根据权利要求8所述的压印装置，其特征在于，

所述涂覆部包括：

旋涂部，其在所述基板上部涂覆液体树脂；以及

干燥部，其干燥所述树脂。

10.根据权利要求1所述的压印装置，其特征在于，

所述结合部包括：

腔室，其维持低真空状态，以能够防止异物流入；以及

硬化部，其使所述基板上的树脂硬化。

11.根据权利要求1所述的压印装置，其特征在于，

所述移送部包括：

PET膜；

第一辊，其供所述PET膜的一端结合而卷绕；以及

第二辊，其供所述PET膜的另一端结合而卷绕且与所述第一辊间隔规定间距而配置，

所述模形成于所述PET膜上。

12.一种压印装置，其特征在于，包括：

表面改性部，其对形成有图案的模表面进行等离子处理；

工作部，其以使进行了等离子处理的所述模的图案能够被冲压于基板的方式，将所述模冲压于所述基板，并从所述基板松释所述模；以及

移送部，其移送所述模，

所述移送部将在所述工作部松释的所述模移送至所述表面改性部，以能够对所述模进行等离子处理而再使用所述模。