[发明专利]示教装置，输送系统，以及定位销的测定方法

说明书

本发明提供一种示教装置(100)，即便在定位销的上端的高度不同的情况下，也能高精度地测定各个定位销的位置。该示教装置(100)由能够输送物品的输送车(101)进行输送并对设置于物品的载置位置(R)的多个定位销(P)的位置进行测定，具备：装置主体(10)；和多个触摸面板(20)，它们能够与多个定位销(P)分别接触且能够相对于装置主体(10)独立地升降。

技术领域

本发明涉及示教装置、输送系统以及定位销的测定方法。

背景技术

在通过输送车输送收纳半导体晶圆、中间掩膜等的容器(物品)的输送系统中，公知为了相对于各种基板处理装置或储存器等的出入库口的搁板部准确地载置容器而相对于输送车进行与容器的载置位置相关的示教。在出入库口设置有用于进行容器的定位的多个定位销，在载置容器时，需要示教使定位销插入至容器背面的槽部。例如，也能够通过取得定位销的图像来进行示教，但会因周围的发光物、光反射物导致检测精度的降低。为了应对这种情况，提出使用应用触摸面板等接触传感器的示教装置来测量定位销的位置(参照专利文献1)。

专利文献1：专利第3479969号公报

然而，多个定位销存在上端的高度不同的情况，在上述专利文献1所记载的示教装置中，与上述定位销抵接并倾斜，由此存在无法准确地测量各定位销的位置的情况。另外，在供定位销设置的搁板部倾斜的情况下定位销的上端的高度也同样不同，但在上述专利文献1的示教装置中，无法测量搁板部的倾斜度。

发明内容

鉴于以上的情况，本发明的目的在于提供即便在定位销的上端的高度不同的情况下也能够高精度地测定各个定位销的位置的示教装置、输送系统以及定位销的测定方法。

本发明是一种由能够输送物品的输送车进行输送并对设置于上述物品的载置位置的多个定位销的位置进行测定的示教装置，具备：装置主体；和多个触摸面板，它们能够与多个定位销分别接触且能够相对于装置主体独立地升降。

另外，也可以构成为具备升降量检测部，该升降量检测部对触摸面板相对于装置主体的升降量进行测量。另外，也可以构成为具备水平仪，该水平仪对装置主体相对于水平面的倾斜度进行检测。另外，也可以构成为触摸面板以利用自重而从装置主体悬吊的状态配置，能够通过与定位销抵接而相对于装置主体上升。另外，也可以构成为触摸面板与多个定位销中的两个对应地配置，装置主体具备触摸板，该触摸板能够与其他定位销接触且能够相对于装置主体升降。另外，也可以构成为装置主体具有能够供输送车支承的被支承部。

另外，本发明提供一种输送系统，具备：输送车，其支承物品并能够移动，使物品相对于设置有多个定位销的载置位置从上方下降来进行移载；和上述示教装置，其能够利用输送车进行输送，并测定多个定位销的位置。

另外，本发明是一种对设置在基于输送车的物品的载置位置的多个定位销的位置进行测定的方法，包括如下步骤：利用输送车使设置为能够相对于装置主体独立升降的多个触摸面板从载置位置的上方下降并与多个定位销分别独立地接触；和根据触摸面板的检测结果来计算多个定位销的位置。

另外，也可以构成为包括如下步骤：根据多个触摸面板的上升量来对平面的倾斜度进行计算，该平面包含多个定位销的上端。

根据本发明的示教装置，使各定位销与能够独立升降的多个触摸面板接触，因而即便在定位销的上端的高度不同的情况下，触摸面板也分别升降，由此能够抑制装置主体倾斜，高精度地测定定位销的位置。