[发明专利]极紫外光源中的目标扩展速率控制

权利要求书

1.一种用于产生极紫外光的方法，包括：

提供目标材料，所述目标材料包括在被转换为等离子体时发射极紫外EUV光的成分；

朝向所述目标材料引导第一辐射束以向所述目标材料传递能量以修改所述目标材料的几何分布以形成经修改的目标；

朝向所述经修改的目标引导第二辐射束，所述第二辐射束将所述经修改的目标的至少一部分转换为发射EUV光的等离子体；

测量与所述目标材料和所述经修改的目标中的一个或多个相关联的一个或多个特性；以及

基于所测量的所述一个或多个特性，将从所述第一辐射束向所述目标材料传递的辐射曝光量控制在预定能量范围内。

2.根据权利要求1所述的方法，其中测量与所述目标材料和所述经修改的目标中的一个或多个相关联的一个或多个特性包括测量所述第一辐射束的能量。

3.根据权利要求2所述的方法，其中测量所述第一辐射束的能量包括：

测量从所述目标材料的光学反射表面反射的所述第一辐射束的能量，或者

测量朝向所述目标材料被引导的所述第一辐射束的能量。

4.根据权利要求2所述的方法，其中测量所述第一辐射束的能量包括测量在垂直于所述第一辐射束的传播方向的方向上的空间积分能量。

5.根据权利要求4所述的方法，其中朝向所述目标材料引导所述第一辐射束包括使所述目标材料与所述第一辐射束的包围其共焦参数的区域交叠。

6.根据权利要求1所述的方法，其中测量与所述目标材料和所述经修改的目标中的一个或多个相关联的一个或多个特性包括测量所述目标材料相对于目标位置的位置。

7.根据权利要求6所述的方法，其中所述第一辐射束沿着第一光束轴线被引导，并且所述目标材料的位置沿着与所述第一光束轴线平行的方向来测量。

8.根据权利要求6所述的方法，其中测量所述目标材料的位置包括沿着两个或更多个非平行方向测量所述目标材料的位置。

9.根据权利要求1所述的方法，其中测量与所述目标材料和所述经修改的目标中的一个或多个相关联的一个或多个特性包括以下中的一项或多项：

在所述第二辐射束将所述经修改的目标的至少一部分转换为等离子体之前检测所述经修改的目标的尺寸；以及

估计所述经修改的目标的扩展速率。

10.根据权利要求1所述的方法，其中基于所测量的所述一个或多个特性来控制从所述第一辐射束向所述目标材料传递的辐射曝光量包括控制所述经修改的目标的扩展速率。

11.根据权利要求1所述的方法，其中基于所测量的所述一个或多个特性来控制从所述第一辐射束向所述目标材料传递的辐射曝光量包括基于所测量的所述一个或多个特性来确定是否应当调节所述第一辐射束的特征。

12.根据权利要求11所述的方法，其中如果确定应当调节所述第一辐射束的特征，则调节以下中的一项或多项：所述第一辐射束的脉冲的能量含量和所述第一辐射束的与所述目标材料相互作用的区域。

13.根据权利要求12所述的方法，其中调节所述第一辐射束的脉冲的能量含量包括以下中的一项或多项：

调节所述第一辐射束的脉冲的宽度；

调节所述第一辐射束的脉冲的持续时间；以及

调节所述第一辐射束的脉冲内的平均功率。

14.根据权利要求11所述的方法，其中：

朝向所述目标材料引导所述第一辐射束包括朝向所述目标材料引导第一辐射脉冲；

测量所述一个或多个特性包括针对每个第一辐射脉冲测量所述一个或多个特性；以及

确定是否应当调节所述第一辐射束的特征包括针对每个第一辐射脉冲确定是否应当调节所述特征。