[发明专利]通过多频率运行进行多次分析处理的转速传感器及其方法

说明书

本发明涉及一种转速传感器，具有带有主延伸平面的衬底、至少一个相对于所述衬底能运动的第一结构、至少一个相对于所述衬底并且相对于所述第一结构能运动的第二结构、至少一个相对于所述衬底并且相对于所述第一结构并且相对于第二结构能运动的第三结和至少一个相对于所述衬底并且相对于所述第一结构并且相对于所述第二结构并且相对于所述第三结构能运动的第四结构，其特征在于，所述转速传感器如此包括驱动装置用于使所述第一结构从所述第一结构的静止位置中基本上平行于驱动方向地偏移并且用于使所述第二结构从所述第二结构的静止位置中基本上平行于所述驱动方向地偏移并且用于使所述第三结构从所述第三结构的静止位置中基本上平行于所述驱动方向地偏移并且用于使所述第四结构从所述第四结构的静止位置中基本上平行于所述驱动方向地偏移，使得所述第一结构和所述第四结构能够在第一频率被激励而相对彼此基本上同相地振动并且相对于所述第二结构和所述第三结构基本上反相地振动，其中，所述第一结构和所述第二结构能够在第二频率被激励而相对彼此基本上同相地振动并且相对于所述第三结构和所述第四结构基本上反相地振动。

技术领域

本发明涉及一种根据权利要求1的前序部分所述的转速传感器。

背景技术

此类转速传感器通常是已知的。此类转速传感器例如如此包括驱动装置用于使第一结构从第一结构的静止位置中基本上平行于驱动方向地偏移并且用于使第二结构从第二结构的静止位置中基本上平行于驱动方向地偏移并且用于使第三结构从第三结构的静止位置中基本上平行于驱动方向地偏移并且用于使第四结构从第四结构的静止位置中基本上平行于驱动方向地偏移，使得第一结构和第四结构可以在第一频率被激励而相对彼此基本上同相地振动并且相对于第二结构和第三结构基本上反相地振动。

发明内容

根据本发明的转速传感器和根据本发明的用于运行根据并列权利要求所述的转速传感器的方法相对于现有技术具有以下优点：转速传感器以简单的、机械稳健的和成本有利的方式提供在探测围绕一个转动轴线或围绕多个相互垂直走向的旋转轴线的转速方面相对于现有技术提升的可靠性。这通过以下方式实现，相对于现有技术，第一结构和第二结构可以在第二频率被激励而相对彼此基本上同相地振动并且相对于第三结构和第四结构基本上反相地振动。根据本发明的转速传感器的第一结构、第二结构、第三结构和第四结构可以同时在第一频率和第二频率被激励。由此能够通过所获知转速的可信性验证实现在探测围绕一个旋转轴线或者围绕多个相互垂直走向的旋转轴线的转速方面提升的可靠性。

本发明的有利构型和扩展方案可以由从属权利要求以及参考附图的描述得知。

根据优选扩展方案设置为，转速传感器包括第一探测单元用于探测沿着与基本上垂直于主延伸平面的第一轴线基本上平行的方向作用到第一结构上的第一力作用、第二探测单元用于探测沿着基本上平行于第一轴线的方向作用到第二结构上的第二力作用、第三探测单元用于探测沿着基本上平行于第一轴线的方向作用到第三结构上的第三力作用和第四探测单元用于探测沿着基本上平行于第一轴线的方向作用到第四结构上的第四力作用，其中，第一力作用、第二力作用、第三力作用和第四力作用由于转速传感器的围绕与基本上平行于主延伸平面并且基本上垂直于驱动方向转速的第二轴线基本上平行的轴线的转速而产生。由此能够以有利的方式实现：可以探测围绕基本上平行于第二轴线的轴线的转速。

根据优选扩展方案设置为，第一探测单元包括至少一个第一电极用于探测作用到第一结构上的第一力作用，第二探测单元包括至少一个第二电极用于探测作用到第二结构上的第二力作用，第三探测单元包括至少一个第三电极用于探测作用到第三结构上的第三力作用并且第四探测单元包括至少一个第四电极用于探测作用到第四结构的第四力作用，其中，第一电极、第二电极、第三电极和第四电极基本上板形地构造，其中，第一电极、第二电极、第三电极和第四电极基本上平行于主延伸平面地延伸并且至少部分布置在衬底和相应结构之间。由此能够有利地实现，可以电容式地探测第一力作用、第二力作用、第三力作用和第四力作用。