[发明专利]通过多频率运行进行多次分析处理的转速传感器及其方法

权利要求书

1.转速传感器(1)，具有带有主延伸平面(100)的衬底(3)、至少一个相对于所述衬底(3)能运动的第一结构(5)、至少一个相对于所述衬底(3)并且相对于所述第一结构(5)能运动的第二结构(7)、至少一个相对于所述衬底(3)并且相对于所述第一结构(5)并且相对于第二结构(7)能运动的第三结构(9)和至少一个相对于所述衬底(3)并且相对于所述第一结构(5)并且相对于所述第二结构(7)并且相对于所述第三结构(9)能运动的第四结构(11)，其特征在于，所述转速传感器(1)如此包括驱动装置用于使所述第一结构(5)从所述第一结构(5)的静止位置中基本上平行于驱动方向(15)地偏移并且用于使所述第二结构(7)从所述第二结构(7)的静止位置中基本上平行于所述驱动方向(15)地偏移并且用于使所述第三结构(9)从所述第三结构(9)的静止位置中基本上平行于所述驱动方向(15)地偏移并且用于使所述第四结构(11)从所述第四结构(11)的静止位置中基本上平行于所述驱动方向(15)地偏移，使得所述第一结构(5)和所述第四结构(11)能够在第一频率被激励而相对彼此基本上同相地振动并且相对于所述第二结构(7)和所述第三结构(9)基本上反相地振动，其中，所述第一结构(5)和所述第二结构(7)能够在第二频率被激励而相对彼此基本上同相地振动并且相对于所述第三结构(9)和所述第四结构(11)基本上反相地振动，其中，所述转速传感器(1)包括第一探测单元(23)用于探测沿着与基本上垂直于所述主延伸平面(100)的第一轴线(Z)基本上平行的方向作用到所述第一结构(5)上的第一力作用、第二探测单元(29)用于探测沿着基本上平行于所述第一轴线(Z)的方向作用到所述第二结构(7)上的第二力作用、第三探测单元(31)用于探测沿着基本上平行于所述第一轴线(Z)的方向作用到所述第三结构(9)上的第三力作用和第四探测单元(33)用于探测沿着基本上平行于所述第一轴线(Z)的方向作用到所述第四结构(11)上的第四力作用，其中，所述第一力作用、所述第二力作用、所述第三力作用和所述第四力作用由于所述转速传感器(1)的围绕与基本上平行于所述主延伸平面(100)并且基本上垂直于所述驱动方向(15)的第二轴线(X)基本上平行的轴线的转速而产生。

2.根据权利要求1所述的转速传感器(1)，其特征在于，所述第一探测单元(23)包括至少一个第一电极(37)用于探测作用到所述第一结构(5)上的所述第一力作用，所述第二探测单元(29)包括至少一个第二电极用于探测作用到所述第二结构(7)上的所述第二力作用，所述第三探测单元(31)包括至少一个第三电极用于探测作用到所述第三结构(9)上的所述第三力作用并且所述第四探测单元(33)包括至少一个第四电极用于探测作用到所述第四结构(11)上的所述第四力作用，其中，所述第一电极(37)、所述第二电极、所述第三电极和所述第四电极基本上板形地构造，其中，所述第一电极(37)、所述第二电极、所述第三电极和所述第四电极基本上平行于所述主延伸平面(100)地延伸并且至少部分布置在所述衬底(3)和相应的所述结构(5、7、9、11)之间。

3.根据权利要求1或2所述的转速传感器(1)，其特征在于，所述转速传感器(1)包括另外的第一探测单元(38)用于探测沿着与基本上平行于所述主延伸平面(100)并且基本上垂直于所述驱动方向(15)的第二轴线(X)基本上平行的方向作用到所述第一结构(5)上的另外的第一力作用、另外的第二探测单元用于探测沿着基本上平行于所述第二轴线(X)作用到所述第二结构(7)上的另外的第二力作用、另外的第三探测单元用于探测沿着基本上平行于所述第二轴线(X)作用到所述第三结构(9)上的另外的第三力作用和另外的第四探测单元用于探测沿着基本上平行于所述第二轴线(X)作用到所述第四结构(11)上的另外的第四力作用，其中，所述另外的第一力作用、所述另外的第二力作用、所述另外的第三力作用和所述另外的第四力作用由于所述转速传感器(1)的围绕与基本上垂直于所述主延伸平面(100)的第一轴线(Z)基本上平行的轴线的转速而产生。