[发明专利]泵系统

说明书

本发明涉及一种泵系统，所述泵系统包括真空泵(12)和连接至所述真空泵(12)的冷却元件(18)。冷却剂供给(20)和冷却剂排放(22)连接至所述冷却元件(18)，用于通过利用冷却剂吸收和排放热量来冷却所述真空泵。所述冷却剂供给(20)和所述冷却剂排放(22)连接至热交换器(24)，从而使热量从所述冷却剂排放(22)传递至所述冷却剂供给(20)。

技术领域

本发明涉及一种泵系统，其特别用于泵入接近冷凝点和/或接近沉积点的气体/蒸汽。

背景技术

在一些涂覆工艺中(如在半导体工业或在平面屏幕的制造过程中)，需要输送接近冷凝点(从气态转化为液态)和/或接近沉积点(转化为固态)的气体/蒸汽。特别地，第二种情况对于真空泵来说是至关重要的，因为产生的固体会在真空泵中以灰尘或沉积物的形式堆积并阻塞真空泵。这种情况首先发生在真空泵的排放侧，因为此处由更高的压力主导且蒸汽更接近冷凝/沉积点。

避免这一问题的一种方式是使用附加气体(如气镇、净化气体)稀释蒸汽，并且保持它们的分压足够低。然而，在一些应用中，由于需要过量的辅助气体，这种解决方案并不是有效的。在这种情况下，推荐提高真空泵的温度，以将输送物质以气体或蒸汽的形式输送通过真空泵。由于压力较大，真空泵排气管排放侧的温度是至关重要的。

在现有技术中，针对冷却水控制的常规系统用于回火目的。这种系统设置和/或调节冷却水流，从而使真空泵基准位置的温度(通常位于排放侧)保持在预定温度。

这种解决方案的缺点在于，可能仅有少量冷却水和/或暂时性地没有任何冷却水供应至真空泵。根据真空泵的类型，这可能会导致热敏构件，如马达、轴承或电子元件冷却不足。

由于真空泵的排气管也必须维持在高温水平，该管通常进一步单独加热(例如，通过电操作加热套管)。这样会降低真空泵的能效，增加成本。

这些工艺中存在的另一个问题是，使用供应至真空泵的净化气体可能导致工艺气体在供应位置的局部冷却。这可能会导致不期望的冷凝和/或沉积。

发明内容

本发明的一个目的在于提供一种泵系统，特别用于输送接近冷凝点和/或接近沉积点的气体/蒸汽，其中，当泵系统可靠且有效地运行时，可以防止冷凝和/或沉积。

该目的通过以下方法实现：

一种泵系统，包括：

真空泵(12)，

冷却元件(18)，其与所述真空泵(12)连接并且具有冷却剂供应管(20)和冷却剂排放管(22)，用于通过利用冷却剂吸收和排放热量来冷却所述真空泵(12)，

其中，所述冷却剂供应管(20)和所述冷却剂排放管(22)与热交换器(24)连接，从而使热量从所述冷却剂排放管(22)传递至所述冷却剂供应管(20)；

所述热交换器(24)与冷却剂入口(28)和冷却剂出口(30)连接；

设置单个冷却回路，所述单个冷却回路从所述冷却剂入口(28)开始，经由所述热交换器(24)延伸至所述冷却元件(18)，再返回所述热交换器(24)和所述冷却剂出口(30)，从而利用所述冷却剂将从所述真空泵(12)排出的热量经由所述热交换器(24)传递至所述冷却剂供应管(20)中的冷却剂。