[发明专利]泵系统

权利要求书

1.一种泵系统，包括：

真空泵(12)，

冷却元件(18)，其与所述真空泵(12)连接并且具有冷却剂供应管(20)和冷却剂排放管(22)，用于通过利用冷却剂吸收和排放热量来冷却所述真空泵(12)，

其中，所述冷却剂供应管(20)和所述冷却剂排放管(22)与热交换器(24)连接，从而使热量从所述冷却剂排放管(22)传递至所述冷却剂供应管(20)；

所述热交换器(24)与冷却剂入口(28)和冷却剂出口(30)连接；

设置单个冷却回路，所述单个冷却回路从所述冷却剂入口(28)开始，经由所述热交换器(24)延伸至所述冷却元件(18)，再返回所述热交换器(24)和所述冷却剂出口(30)，从而利用所述冷却剂将从所述真空泵(12)排出的热量经由所述热交换器(24)传递至所述冷却剂供应管(20)中的冷却剂。

2.根据权利要求1所述的泵系统，其中，在所述冷却剂供应管(20)和/或所述冷却剂入口(28)与所述热交换器(24)之间设置有调节阀(32、38)，用于调节所述冷却剂的流量。

3.根据权利要求1所述的泵系统，其中，设置与所述真空泵(12)连接的净化气体供给管(60)，用于为泵送过程提供净化气体，其中，用于预热所述净化气体的所述净化气体供给管(60)与所述热交换器(24)和/或所述冷却剂排放管(22)连接，从而利用所述冷却剂将从所述真空泵(12)排出的热量传递至所述净化气体。