[发明专利]电磁铁单元、磁轴承装置及真空泵

说明书

提供高精度地检测旋转体的径向的位移的电磁铁单元、磁轴承装置及真空泵。上方电磁铁单元(61)具备将转子(20)在径向(R)上非接触支承的径向电磁铁(63)、检测转子(20)的径向(R)的位移的径向传感器(64)、卷绕线圈(63a)及线圈(64a)的磁芯(65)。在磁芯(65)的周向(C)上相邻的两个径向电磁铁(63、63)配置成在两个径向电磁铁(63、63)，相邻的磁极(66、66)彼此为同极，在两个径向电磁铁(63、63)间形成低磁通量干涉区域(m)。径向传感器(64)配置于低磁通量干涉区域(m)内。

技术领域

本发明涉及电磁铁单元、磁轴承装置及真空泵，特别地，涉及用于高精度地检测旋转体的径向位移的电磁铁单元、磁轴承装置及真空泵。

背景技术

作为使用真空泵进行排气处理而将内部保持成真空的装置，已知有半导体制造装置、液晶制造装置、电子显微镜、表面分析装置及细微加工装置等。被用于这样的装置的真空泵通过旋转翼相对于固定翼相对旋转，排出装置内的气体，装置内被保持成真空。

在专利文献1中，公开了一种磁轴承装置，前述磁轴承装置具备将旋转体在径向上非接触支承的径向电磁铁和检测旋转体的径向的位移的径向传感器，具备基于径向传感器的输出调整径向电磁铁的磁力的控制机构，配置成相邻的径向电磁铁的磁极和径向传感器的磁极为同极。

专利文献1 : 日本特开2001-56026号公报。

在如上所述的磁轴承装置中，径向电磁铁的磁通量比径向传感器的磁通量强，所以有如下问题：在相邻的径向电磁铁和径向传感器之间发生磁干涉，径向传感器的磁特性变化，有旋转体的径向的位移不被准确地检测。

发明内容

因此，本发明是鉴于这样的以往的问题而作出的，其目的在于高精度地检测旋转体的径向的位移。

本发明是为了实现上述目的而被提出的，技术方案1所述的发明是一种电磁铁单元，前述电磁铁单元具备径向磁力产生机构、径向位移检测机构、磁芯，前述径向磁力产生机构借助磁力将旋转体在径向上非接触支承，前述径向位移检测机构检测前述旋转体的径向的位移，前述磁芯卷绕有前述径向磁力产生机构的线圈及前述径向位移检测机构的线圈，其特征在于，在前述磁芯的周向上相邻的两个前述径向磁力产生机构被配置成在该两个前述径向磁力产生机构间相邻的磁极彼此为同极，在前述两个前述径向磁力产生机构间形成低磁通量干涉区域，前述径向位移检测机构被配置于前述低磁通量干涉区域内。

根据该方案，以相邻的径向磁力产生机构的磁极彼此同极的方式配置径向磁力产生机构，径向位移检测机构被配置于在相邻的径向磁力产生机构间形成的低磁通量干涉区域内，由此抑制由于径向磁力产生机构的强磁通量而径向位移检测机构受到磁干涉的情况，所以径向位移检测机构能够高精度地检测旋转体的径向的位移。

技术方案2所述的发明提供一种电磁铁单元，前述电磁铁单元在技术方案1所述的电磁铁单元的结构上，具备减少前述径向磁力产生机构和前述径向位移检测机构的磁耦合的磁屏蔽机构。

根据该方案，磁屏蔽机构减少径向磁力产生机构和径向位移检测机构的磁耦合，由此抑制径向位移检测机构受到由于径向磁力产生机构的强磁通量引起的磁干涉的情况，所以径向位移检测机构能够更高精度地检测旋转体的径向的位移。

技术方案3所述的发明提供一种电磁铁单元，前述电磁铁单元在技术方案2所述的电磁铁单元的结构上，前述磁屏蔽机构是被安装于前述径向磁力产生机构的导电性的屏蔽环。

根据该方案，导电性的屏蔽环使径向磁力产生机构的磁通量宽度变窄，由此减少径向磁力产生机构和径向位移检测机构之间的磁干涉，所以径向位移检测机构能够高精度地检测旋转体的径向的位移。

技术方案4所述的发明提供一种电磁铁单元，前述电磁铁单元在技术方案2所述的电磁铁单元的结构上，前述磁屏蔽机构是被覆盖设置于前述径向位移检测机构的线圈的导电性的屏蔽管。