[发明专利]电磁铁单元、磁轴承装置及真空泵

权利要求书

1.一种电磁铁单元，前述电磁铁单元具备径向磁力产生机构、径向位移检测机构、磁芯，前述径向磁力产生机构借助磁力将旋转体在径向上非接触支承，前述径向位移检测机构检测前述旋转体的径向的位移，前述磁芯卷绕有前述径向磁力产生机构的线圈及前述径向位移检测机构的线圈，其特征在于，

前述径向磁力产生机构的线圈和前述径向位移检测机构的线圈二者被卷绕于前述磁芯，

在前述磁芯的周向上相邻的两个前述径向磁力产生机构被配置成在该两个前述径向磁力产生机构间相邻的磁极彼此为同极，在前述两个前述径向磁力产生机构间形成低磁通量干涉区域，前述径向位移检测机构被配置于前述低磁通量干涉区域内，

卷绕有前述径向磁力产生机构的线圈的前述磁芯的凸部和卷绕有前述径向位移检测机构的线圈的前述磁芯的爪部的离开距离被设定成，比前述径向磁力产生机构的前述线圈及前述径向位移检测机构的前述线圈的厚度尺寸大，

前述径向位移检测机构具备在前述旋转体的轴向上并列地设置的互不相同的两个磁极，

卷绕前述径向磁力产生机构的前述线圈的前述凸部和卷绕前述径向位移检测机构的前述线圈的前述爪部配置成，从前述径向观察不重叠。

2.如权利要求1所述的电磁铁单元，其特征在于，

具备减少前述径向磁力产生机构和前述径向位移检测机构的磁耦合的磁屏蔽机构。

3.如权利要求2所述的电磁铁单元，其特征在于，

前述磁屏蔽机构是被安装于前述径向磁力产生机构的导电性的屏蔽环。

4.如权利要求2所述的电磁铁单元，其特征在于，

前述磁屏蔽机构是被覆盖设置于前述径向位移检测机构的线圈的导电性的屏蔽管。

5.如权利要求1至4中任一项所述的电磁铁单元，其特征在于，

前述径向磁力产生机构具备被在前述磁芯的周向上并列地设置且形成朝向互相相反的方向的两个磁通量的三个磁极。

6.如权利要求1至4中任一项所述的电磁铁单元，其特征在于，

前述径向磁力产生机构具备被在前述磁芯的周向上并列地设置且形成朝向互相相反的方向的两个磁通量的四个磁极。

7.如权利要求1至4中任一项所述的电磁铁单元，其特征在于，

前述径向磁力产生机构具备将互不相同的极性在前述磁芯的周向上交替地并列地设置的五个以上的磁极。

8.如权利要求1所述的电磁铁单元，其特征在于，

前述径向位移检测机构具备在前述磁芯的周向上并列地设置的互不相同的两个磁极。

9.如权利要求1所述的电磁铁单元，其特征在于，

前述磁芯具备使前述径向位移检测机构的前述轴向的磁通量通过前述磁芯而产生的电涡流减少的电涡流减少机构。

10.如权利要求9所述的电磁铁单元，其特征在于，

前述电涡流减少机构是减少前述径向位移检测机构的前述轴向的磁通量通过前述磁芯的通过截面积的构造。

11.如权利要求1至4中任一项所述的电磁铁单元，其特征在于，

前述径向位移检测机构的前述线圈被卷绕于从前述磁芯向前述径向的内侧突出地设置的两个爪部，

从前述线圈的径向外侧端至前述爪部的基端的距离被较长地设定为前述两个爪部间的距离以上。

12.如权利要求1至4中任一项所述的电磁铁单元，其特征在于，

至少一个前述径向磁力产生机构的磁极中心和至少一个前述径向位移检测机构的磁极中心被配置于同一平面上。

13.如权利要求2所述的电磁铁单元，其特征在于，

前述磁屏蔽机构是被夹装于前述电磁铁单元和将前述径向位移检测机构的线圈接线的基板之间的导电性的屏蔽板。