[发明专利]固态成像装置、成像设备和固态成像装置的制造方法有效
申请号: | 201680030158.0 | 申请日: | 2016-04-19 |
公开(公告)号: | CN107615484B | 公开(公告)日: | 2021-12-14 |
发明(设计)人: | 纳土晋一郎 | 申请(专利权)人: | 索尼公司 |
主分类号: | H01L27/146 | 分类号: | H01L27/146;G02B7/34;G03B13/36;H04N5/369 |
代理公司: | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人: | 梁兴龙;曹正建 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 固态 成像 装置 设备 制造 方法 | ||
本发明提供了能够在两个以上的主光线角度处理入射光的像面相位差像素。这种固态成像装置设置有像素,所述像素包括聚集来自被摄体的光的微透镜;光电转换单元,其接收由所述微透镜聚集的被摄体光,以根据接收的光量生成电气信号;和设置在所述光电转换单元和所述微透镜之间的遮光部,其中所述遮光部包括跨越所述光电转换单元的光接收面形成的边缘部,和所述边缘部包括在对应于输出图像的上下方向的第一方向和对应于输出图像的左右方向的第二方向上的彼此不同的位置处的第一边缘部和第二边缘部。
技术领域
本技术涉及一种固态成像装置、成像设备和固态成像装置的制造方法。
背景技术
近年来,广泛使用具有用于在成像期间自动调节聚焦的自动对焦(AF)功能的成像设备。AF系统大致分为有源系统和无源系统。在有源系统中,施加到物体(被摄体)的反射波(例如,红外光和超声波)的返回时间和照射角度被用来检测距离。在无源系统中,由透镜捕捉的图像被用来测量距离。在无源系统中存在对比度检测系统和相位差检测系统。
相位差检测系统的例子包括:除了成像用的图像传感器之外,还设有相位差AF专用的图像传感器的系统;以及其中将相位差检测用像素并入成像传感器中的像面相位差AF系统。在任一系统中,从透镜入射的光被分成两个(光瞳分割),并且从图像的偏离来检测聚焦位置。除了成像用的图像传感器之外,前者还设有相位差AF专用的图像传感器,并且存在成像设备的尺寸变大的缺点。后者具有的优点是,由于相位差检测用的像素(相位差检测用像素)被并入成像用的图像传感器中,因此成像设备的尺寸可以较小。
在像面相位差AF系统中,基于从相位差检测信号获取的相位差信号进行AF操作。多个像面相位差像素配置在视角内,并且各像素具有使得在作为光接收装置的光电二极管上的开口部的左右半部分或上下半部分被遮蔽的像素结构。像面相位差像素成对地设置,其中被摄体光的一半在一个像面相位差像素中被遮蔽,并且被摄体光的另一半在另一个像面相位差像素中被遮蔽。基于成对的像面相位差像素的不同入射角特性生成一个相位差信号(例如,参见PTL 1)。
PTL1公开了一种像面相位差像素的遮光部,其形成为使得微透镜的成像点的位置和遮光部的入射口侧上的边缘部的位置根据图像高度而分离。尽管进入图像传感器的被摄体光的入射角在设定透镜的轴外侧从微透镜的成像点逐渐偏离,但是PTL 1的技术也可以适用于根据芯片内的坐标与来自设定透镜的被摄体光的入射角相一致地设计遮光部的入射口侧的端部的位置。
[引用列表]
[专利文献]
[PTL 1]JP 2012-182332 A
发明内容
[技术问题]
然而,在透镜可交换式成像设备中,主光线角度取决于安装的透镜而不同,并且需要根据各透镜的主光线角度来设置像面相位差像素。即使存在一个透镜,主光线角度也随着变焦位置的变化而变化,并且需要根据各变焦位置的主光线角度来设置像面相位差像素。即使将具有与主光线角度相似性质的多个透镜或变焦位置分组并且针对每组来设置像面相位差像素,当透镜阵列(line-up)的角度范围或变焦位置的角度范围很宽时,也需要设置大量的像面相位差像素。像面相位差像素作为不能用作拍摄图像的构成要素的缺陷像素被处理,并且像面相位差像素的增加降低了拍摄图像的图像质量。
本技术是鉴于这些问题而做出的,本发明的目的是实现一种包括可以在两个以上的主光线角度处理入射光的像面相位差像素的固态成像装置、包括所述固态成像装置的固态成像设备和所述固态成像装置的制造方法。
[解决问题的方案]
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的