[发明专利]使片材与载体粘结的制品和方法

说明书

本文揭示了有机硅改性层以及相关的沉积方法和惰性气体处理，其可以用于片材和/或载体，以控制片材和载体之间的范德华力、氢键合和共价键合。改性层将片材和载体粘结在一起，使得防止高温加工时的永久粘结以及维持足够的粘结以防止高温加工期间的分层。

相关申请的交叉参考

本申请根据35U.S.C.§119，要求2015年08月05日提交的美国临时申请系列第62/201245号以及2015年05月19日提交的美国临时申请系列第62/163821号的优先权，本文以该申请为基础并将其全文分别通过引用结合于此。

技术领域

本公开一般地涉及用于在载体上加工片材的制品和方法，更具体地，涉及用于在玻璃载体上加工挠性玻璃片的制品和方法。

背景技术

挠性基材提供采用卷-卷加工的更廉价装置的可能性，以及制造更薄、更轻、更为灵活和耐用的显示器的潜力。但是，尚未完全建立高质量显示器的卷-卷加工所需的技术、设备和工艺。由于面板制造商已经大量投入用于加工大型玻璃片的成套工具，将挠性基材层叠到载体并通过片-片加工来制造显示器装置提供了开发更薄、更轻和更为灵活的显示器的有价值计划的较短期解决方案。已经验证了在聚合物片(例如聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN))上的显示器，其中装置制造是PEN层叠到玻璃载体的片-片形式。PEN的温度上限限制了装置质量和可以使用的工艺。此外，聚合物基材的高可透过性导致有机发光二极管(OLED)装置的环境降解，需要近乎密封的封装。薄膜封装提供了克服该限制的可能性，但是尚未证实其在大体积也能提供可接受的产率。

以类似的方式，可以采用层叠到一块或多块薄的玻璃基材的玻璃载体来制造显示器装置。预期薄玻璃的低可透过性、改善的温度和化学抗性能够实现更高性能、更长寿命的挠性显示器。

该概念涉及：初始通过范德华力将薄片(例如挠性玻璃片)与载体粘结，然后在某些区域增加粘结强度同时保留在薄片/载体的加工之后取出部分薄片以在其上形成装置(例如，电子或显示器装置、电子或显示器装置的组件、OLED材料、光伏(PV)结构或者薄膜晶体管(TFT))的能力。至少一部分的薄玻璃与载体粘结，从而防止了装置加工流体进入薄片和载体之间，由此降低了污染下游工艺的可能性，也就是说，薄片和载体之间的粘结密封部分是密封的，并且在一些优选实施方式中，该密封包围了制品的外部，从而防止液体或气体闯入或离开密封制品的任意区域。

在低温多晶硅(LTPS)装置制造过程中，例如，对于接近600℃或更高的温度，可以使用真空和湿蚀刻环境。这些条件限制了可使用的材料，并且对于载体/薄片提供了高要求。因此，需要这样的载体方法，其采用制造商现有的投资设备，实现了薄玻璃(厚度≤0.3毫米(mm)的玻璃)的加工，而不发生污染或者有损较高加工温度下薄玻璃与载体之间的粘结强度，并且在加工的最后，薄玻璃易于从载体进行脱粘结。

一个商业化优势是制造商将能使用它们现有的加工设备的基建投资，同时获得用于例如PV、OLED、液晶显示器(LCD)和图案化TFT电子件的薄玻璃板的益处。此外，此类方法实现了加工灵活性，包括：用于薄玻璃片和载体的清洁和表面准备以促进粘结的过程；用于薄片和载体之间的粘结区域处的粘结强化的过程；用于维持可控粘结(或粘结降低/低强度粘结)区域的薄片与载体的可脱离性的过程；以及用于切割薄片以促进从载体释放的过程。