[发明专利]微孔电极及分析化学物质的方法

权利要求书

1.一种微孔电极，其特征在于，包括：

多个第一电极；

与每个第一电极相对设置的第二电极，每个第一电极和与其相对的第二电极之间具有通道，通道的两端均连通有腔，相邻的两个通道是连通的；

位于所述腔中的一个或多个引导电极；

用于支撑所述多个第一电极的第一支撑元件，所述第一支撑元件为导电元件，所述第一支撑元件具有多个凹槽，每个凹槽位于相邻的两个第一电极之间，每个引导电极伸入对应的凹槽中；

多个第二支撑元件，每个第二电极分别由对应的第二支撑元件支撑，每个第二支撑元件位于对应的第二电极远离所述第一支撑元件的一侧。

2.根据权利要求1所述的微孔电极，其特征在于，

所述第一电极包括间隔开的多段。

3.根据权利要求1或2所述的微孔电极，其特征在于，

所述第二电极包括间隔开的多段。

4.根据权利要求1所述的微孔电极，其特征在于，还包括：

能够固定酶或待检测化学物质的纳米结构，所述纳米结构位于所述腔的底部或侧壁，或者位于所述通道的底部或侧壁，或者位于所述引导电极上。

5.根据权利要求4所述的微孔电极，其特征在于，

所述纳米结构的材料选自金属、金属氧化物、无机聚合物、有机聚合物或者前述材料的组合。

6.根据权利要求1所述的微孔电极，其特征在于，

所述通道的宽度为0.5-100nm；和/或

所述通道的长度为50nm-100μm；和/或

所述通道的深度为0-10μm。

7.根据权利要求1所述的微孔电极，其特征在于，

所述第一电极的厚度为1-1000nm；和/或

所述第二电极的厚度为1-1000nm。

8.根据权利要求1所述的微孔电极，其特征在于，

所述第一电极的材料与所述第二电极的材料相同。

9.根据权利要求1所述的微孔电极，其特征在于，

所述第一电极的材料与所述第二电极的材料不同。

10.根据权利要求1所述的微孔电极，其特征在于，

所述第一电极的材料选自：硅、铂、金、银、氧化铟锡或碳基材料；和/或

所述第二电极的材料选自：硅、铂、金、银、氧化铟锡或碳基材料；和/或

所述引导电极的材料选自：硅、铂、金、银、氧化铟锡或碳基材料。

11.根据权利要求1所述的微孔电极，其特征在于，

所述导电元件的材料选自：硅、铂、金、银、氧化铟锡或碳基材料。

12.根据权利要求1所述的微孔电极，其特征在于，

所述腔的底面与所述通道的底面位于同一平面或不同平面。

13.根据权利要求1所述的微孔电极，其特征在于，还包括：

衬底和位于衬底上的绝缘层；

所述第一电极、所述第二电极、以及所述引导电极位于所述绝缘层上。

14.根据权利要求1所述的微孔电极，其特征在于，还包括：

位于所述第一电极和/或所述第二电极的上表面的一部分上的钝化层。

15.一种微孔电极阵列，其特征在于，包括：权利要求1-14任意一项所述的微孔电极。

16.一种传感器芯片，其特征在于，包括：权利要求15所述的微孔电极阵列。

17.一种测序系统，其特征在于，包括：权利要求16所述的传感器芯片。