[发明专利]静电电容型传感器、传感器片以及静电电容型传感器的制造方法

权利要求书

1.一种静电电容型传感器(1)，具备介电层(2)和配置在该介电层(2)的正反方向上的两侧的多个电极单元(3、4)，该静电电容型传感器(1)的特征在于，

该电极单元(3、4)具有：绝缘层(31、41)，其具有贯通孔(310、410)，该贯通孔(310、410)在所述绝缘层(31、41)的正反方向上贯通所述绝缘层(31、41)；电极层(01X～08X、01Y～08Y)，其配置在该绝缘层(31、41)的正反方向上的一面；以及跳线层(01x～08x、01y～08y)，其配置在该绝缘层(31、41)的正反方向上的另一面，该跳线层(01x～08x、01y～08y)经由该贯通孔(310、410)而与该电极层(01X～08X、01Y～08Y)导通，

其中，该绝缘层(31、41)的断裂伸长率为60％以上，拉伸永久变形小于5％，体积电阻率为1.0×10¹⁰Ω·cm以上。

2.根据权利要求1所述的静电电容型传感器(1)，其特征在于，

所述绝缘层(31、41)的拉伸模量大于10MPa。

3.根据权利要求1或权利要求2所述的静电电容型传感器(1)，其特征在于，

所述绝缘层(31、41)包含弹性体和防粘连剂。

4.根据权利要求3所述的静电电容型传感器(1)，其特征在于，

相对于所述弹性体的100质量份而言，所述防粘连剂的含有量为18质量份以上且小于107质量份。

5.根据权利要求3所述的静电电容型传感器(1)，其特征在于，

所述防粘连剂包含氧化钛粒子和二氧化硅粒子中的至少一方。

6.根据权利要求1或权利要求2所述的静电电容型传感器(1)，其特征在于，

所述电极单元(3、4)具有基材(30、40)，

所述绝缘层(31、41)、所述电极层(01X～08X、01Y～08Y)以及所述跳线层(01x～08x、01y～08y)形成于该基材(30、40)的正反方向上的一面侧。

7.根据权利要求1或权利要求2所述的静电电容型传感器(1)，其特征在于，

所述电极层(01X～08X、01Y～08Y)和所述跳线层(01x～08x、01y～08y)包含弹性体。

8.根据权利要求1或权利要求2所述的静电电容型传感器(1)，其特征在于，

将配置于所述介电层(2)的正面侧的所述电极单元(3、4)设为正面侧电极单元(3)，将配置于该介电层(2)的反面侧的所述电极单元(3、4)设为反面侧电极单元(4)，

在该正面侧电极单元(3)中，所述电极层(01X～08X、01Y～08Y)包含相互平行排列的多个正面侧电极层(01X～08X)，所述跳线层(01x～08x、01y～08y)包含与多个该正面侧电极层(01X～08X)分别导通的多个正面侧配线层(01x～08x)，

在该反面侧电极单元(4)中，所述电极层(01X～08X、01Y～08Y)包含相互平行排列的多个反面侧电极层(01Y～08Y)，所述跳线层(01x～08x、01y～08y)包含与多个该反面侧电极层(01Y～08Y)分别导通的多个反面侧配线层(01y～08y)，

从正面侧或反面侧观察，多个该正面侧电极层(01X～08X)和多个该反面侧电极层(01Y～08Y)沿相互交叉的方向延伸，在多个该正面侧电极层(01X～08X)与多个该反面侧电极层(01Y～08Y)重叠的部分处设定多个检测部(D、a)。