[发明专利]电阻率值调整装置及电阻率值调整方法

说明书

一种电阻率值调整装置，其包括：中空纤维膜组件，其被中空纤维膜分隔成被供给要调整电阻率值的液体的液相侧区域、以及被供给能调整电阻率值的调整气体的气相侧区域，该中空纤维膜组件能够使所述调整气体溶解于所述液体；液体供给管，其连通于所述液相侧区域，用于向所述液相侧区域供给所述液体；液体排出管，其连通于所述液相侧区域，用于将所述液体自所述液相侧区域排出；气体供给管，其连通于所述气相侧区域，用于向所述气相侧区域供给所述调整气体；气体排出管，其连通于所述气相侧区域，用于将所述调整气体自所述气相侧区域排出；旁通管，其以旁通绕过所述中空纤维膜组件的方式连通于所述液体供给管及所述液体排出管；以及第一开闭阀，其连接于所述气体排出管，用于开闭所述气体排出管内的第一流路，所述第一开闭阀能够通过开启所述第一流路来将蓄积于所述气相侧区域的水排出。

技术领域

本发明涉及一种调整液体的电阻率值的电阻率值调整装置及电阻率值调整方法。

背景技术

在半导体或液晶的制造工序中，使用超纯水对基板进行清洗。在该情况下，若超纯水的电阻率值高，则会产生静电。由此可能出现绝缘击穿或者再次附着微粒的情况，从而明显地对产品成品率带来不良影响。

为了解决这样的问题，提出了一种使用疏水性的中空纤维膜组件的方法。该方法使用中空纤维膜组件来使二氧化碳气体或氨气等气体溶解于超纯水中。于是，通过解离平衡产生离子，并利用该产生的离子使超纯水的电阻率值降低。

另外，在基板的清洗、切割等工序中，超纯水的流动变动激烈。因此，在专利文献1及专利文献2中，提出了一种即使流量变动也可以使电阻率值稳定的技术。在专利文献1记载的技术中，设置了生成小流量的附加有高浓度气体的液体的中空纤维膜组件、和供大流量的超纯水经过的旁通管道。并且，使生成的附加有高浓度气体的液体和经过旁通管道的超纯水混合。由此，能够容易地调整超纯水的电阻率值。在专利文献2记载的技术中，设置了多个旁通管道，并在1个或多个旁通管道上设置了截止阀。并且，若超纯水的流量下降，则将一部分或全部的截止阀开启。由此，超纯水变为低流量从而能够抑制超纯水的电阻率值上升。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特许第3951385号公报

专利文献2：日本特开2012-223725号公报

发明内容

发明要解决的问题

在这样的中空纤维膜组件中，隔着中空纤维膜被分隔成供超纯水流动的液相侧区域及供气体流动的气相侧区域。并且，气相侧区域的气体透过中空纤维膜从而溶解于液相侧的超纯水。

然而，本发明人在使用中空纤维膜组件使二氧化碳气体或氨气溶解于超纯水中时，出现了尽管超纯水的流量不降低，但超纯水的电阻率值仍随着时间的经过而上升的现象。

因此，本发明的目的在于，提供一种能够长期地抑制液体的电阻率值上升的电阻率值调整装置及电阻率值调整方法。

用于解决问题的方案

本发明人为了达成上述目的，经专心研究的结果是，发现了会因为以下原因而导致上述现象。即，在超纯水中溶解有水蒸气。因此，若使用中空纤维膜组件使二氧化碳气体或氨气溶解于超纯水中，则溶解于超纯水中的水蒸气会向气相侧区域逆向扩散。在气相侧区域中，逆向扩散于气相侧区域的水蒸气凝结，且凝结水蓄积。其结果是，中空纤维膜被凝结水覆盖，导致气相侧区域的气体变得不能透过中空纤维膜。本发明人基于这样的发现完成了本发明。