[发明专利]电阻率值调整装置及电阻率值调整方法

权利要求书

1.一种电阻率值调整方法，其是使用中空纤维膜组件对超纯水的电阻率值进行调整的方法，该中空纤维膜组件被中空纤维膜分隔成被供给要调整电阻率值的超纯水的液相侧区域、以及被供给能调整电阻率值的调整气体的气相侧区域，该中空纤维膜组件能使所述调整气体溶解于所述超纯水，其中，

该电阻率值调整方法包括：

电阻率值调整工序，在该工序中，一边使所述超纯水经过所述液相侧区域一边使所述调整气体经过所述气相侧区域，从而使所述调整气体溶解于所述超纯水，并且，使溶解有所述调整气体的所述超纯水与旁通绕过所述中空纤维膜组件的所述超纯水混合，从而对所述超纯水的电阻率值进行调整；以及

排出工序，在该工序中，利用能开闭连通于所述气相侧区域的气体排出管内的第一流路的第一开闭阀，将在所述气相侧区域凝结成的水和从所述液相侧区域逆向扩散至所述气相侧区域的所述超纯水的溶解气体排出，

所述第一开闭阀是电动阀，连接于所述气体排出管的中途，

在所述电阻率值调整工序中，利用所述第一开闭阀关闭所述第一流路，

在所述排出工序中，至少在供给所述超纯水并且供给所述调整气体的期间定期地开闭所述第一开闭阀，将开启所述第一开闭阀的时间设为0.5秒以上1分钟以下，在开启所述第一开闭阀时使流量为1L/min以上300L/min以下的流体经过所述第一开闭阀，将附着于所述中空纤维膜的凝结水从所述第一开闭阀排出。

2.根据权利要求1所述的电阻率值调整方法，其中，

在所述电阻率值调整工序中，使所述气相侧区域的所述调整气体自漏出部漏出，该漏出部以相对于所述第一开闭阀并列设置的方式连通于所述第一流路。