[发明专利]电子元器件的电气特性测定方法以及电气特性测定装置

权利要求书

1.一种电气特性测定方法，

是使测定端子和电子元器件的外部电极抵接，并利用与所述测定端子相连接的测定器检测流过所述电子元器件的电信号，来测定所述电子元器件的电气特性的电气特性测定方法，其特征在于，包括：

预先生成使所述测定端子和所述外部电极抵接时的荷重的大小与电气特性的测定误差量之间的关系式的步骤；

使所述测定端子和所述电子元器件的所述外部电极抵接，并利用所述测定器检测流过所述电子元器件的电信号，来测定所述电子元器件的电气特性并得到测定电气特性，同时利用荷重传感器测定所述抵接时的荷重的大小并得到荷重值的步骤；以及

基于所述关系式，根据所述荷重值的大小，来对所述测定电气特性进行校正的步骤。

2.如权利要求1所述的电气特性测定方法，其特征在于，

还具备根据成为基准的基准温度与测定时的所述电子元器件的温度的偏差，来对所述测定电气特性进行校正的步骤。

3.如权利要求1或2所述的电气特性测定方法，其特征在于，

还具备通过判断所述电子元器件的校正后的电气特性是否在预先确定的允许范围内，从而将所述电子元器件分类成合格品或不合格品的步骤。

4.如权利要求1至3的任一项所述的电气特性测定方法，其特征在于，

还具备在所述荷重值的大小为超过预先确定的阈值而较小、以及超过预先确定的阈值而较大的情况中的至少一种情况下，将该电子元器件判断为不合格品的步骤。

5.如权利要求1至4的任一项所述的电气特性测定方法，其特征在于，

所述电气特性是电阻值。

6.一种电气特性测定装置，其特征在于，包括：

测定端子，该测定端子与电子元器件的外部电极相抵接；

测定器，该测定器与所述测定端子相连接，检测流过所述电子元器件的电信号，来对所述电子元器件的电气特性进行测定；

抵接构件，该抵接构件在测定时与所述电子元器件的、所述测定端子所抵接的面的相反侧的面相抵接；以及

荷重传感器，该荷重传感器设置于所述抵接构件，对使所述测定端子和所述电子元器件的所述外部电极抵接时的荷重的大小进行测定。

7.一种电气特性测定装置，其特征在于，包括：

测定端子，该测定端子与电子元器件的外部电极相抵接；

测定器，该测定器与所述测定端子相连接，检测流过所述电子元器件的电信号，来对所述电子元器件的电气特性进行测定；以及

荷重传感器，该荷重传感器在测定时与所述电子元器件的、所述测定端子所抵接的面的相反侧的面相抵接，并且对使所述测定端子和所述电子元器件的所述外部电极抵接时的荷重的大小进行测定。

8.如权利要求6或7所述的电气特性测定装置，其特征在于，还包括：

存储单元，该存储单元对预先生成的使所述测定端子和所述外部电极抵接时的荷重的大小与电气特性的测定误差量之间的关系式进行存储；以及

运算单元，该运算单元基于所述关系式，根据由所述荷重传感器所测定出的荷重值的大小，对由所述测定端子测定出的测定电气特性进行校正。

9.如权利要求6至8的任一项所述的电气特性测定装置，其特征在于，

还具备运算单元，该运算单元根据成为基准的基准温度与测定时的所述电子元器件的温度的偏差来对所述测定电气特性进行校正。

10.如权利要求6至9的任一项所述的电气特性测定装置，其特征在于，

所述电气特性是电阻值。