[发明专利]基板收纳容器有效
申请号: | 201680018405.5 | 申请日: | 2016-02-22 |
公开(公告)号: | CN107431036B | 公开(公告)日: | 2021-09-28 |
发明(设计)人: | 加藤胜彦;三村博;波贺野贤 | 申请(专利权)人: | 信越聚合物株式会社 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;B65D85/86 |
代理公司: | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人: | 章蕾 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 收纳 容器 | ||
1.一种基板收纳容器,具备收纳基板的至少一侧开口的容器主体、及能够装卸于该容器主体的开口部使之开闭自如的盖体,且
在所述容器主体的内部,具备附有将所述基板的后方部位予以保持的第一保持槽的第一保持部,
在所述盖体的内侧,具备附有将所述基板的前方部位予以保持的第二保持槽的第二保持部,
使所述第一保持部中的至少所述第一保持槽由以聚碳酸酯树脂与聚对苯二甲酸丁二酯树脂为主的合金树脂构成,
构成至少所述第一保持槽的所述合金树脂包含相对于该树脂成分的质量为25质量%以上且40质量%以下的聚对苯二甲酸丁二酯树脂。
2.根据权利要求1所述的基板收纳容器,其中
使所述第二保持部中的至少所述第二保持槽进而由所述合金树脂构成。
3.根据权利要求1所述的基板收纳容器,其中
所述容器主体具备支撑部,该支撑部具有在从该容器主体的开口部观察的所述基板的左右两侧的内表面分别以固定间隔支撑所述基板的架,
所述第一保持部具备在所述支撑部的从所述开口部观察时的里侧,
所述第一保持部在其内侧具备能够将所述基板的所述里侧的端部从所述架的上表面抬起而支撑的倾斜面,
在所述容器主体的所述开口部安装有所述盖体时,所述容器主体内的所述基板夹持于所述第一保持槽与所述第二保持槽之间,且从所述架抬起而得以保持。
4.根据权利要求3所述的基板收纳容器,其中
所述支撑部是与所述容器主体不同的独立个体,且从所述容器主体装卸自如地安装。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造