[发明专利]借助印刷技术制作含有肖特基二极管器件的方法有效
申请号: | 201680014452.2 | 申请日: | 2016-03-23 |
公开(公告)号: | CN107438893B | 公开(公告)日: | 2020-11-27 |
发明(设计)人: | 尼尔斯·贝森;罗兰·斯切尔;马克·霍夫曼;托马斯·卡西尔;丹尼尔·尔尼 | 申请(专利权)人: | 杜伊斯堡-埃森大学 |
主分类号: | H01L21/329 | 分类号: | H01L21/329;H01L21/34;H01L29/06;H01L29/872;H01L29/20 |
代理公司: | 北京国林贸知识产权代理有限公司 11001 | 代理人: | 李桂玲 |
地址: | 德国埃森*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 借助 印刷技术 制作 含有 肖特基 二极管 器件 方法 | ||
1.借助印刷技术制作含有肖特基二极管器件的方法,其特征在于,所述方法包括如下步骤:
第一步,将半导体纳米颗粒粉体(HND)沉积(100)在第一电极(E1)上,所述第一电极(E1)设置在衬底(S)上,
第二步,使用激光(L)对沉积的所述半导体纳米颗粒粉体(HND)照射(200)形成具有底部和圆弧尖端的圆锥体(C1、C2),其中,所述圆锥体的底部与所述第一电极(E1)结合连接,
第三步,将形成的所述圆锥体(C1、C2)嵌入(300)在电绝缘聚合物基体(P)中,
第四步,施加(500)第二电极(E2)与所述圆锥体(C1、C2)的圆弧尖端结合;
其中的沉积是刮片、丝网方法、喷墨印刷、旋转涂层或者将粉体倾倒中的一种。
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于:在所述施加(500)第二电极(E2)之前,首先采用控制蚀刻(400)的方法将所述圆锥体(C1、C2)的圆弧尖端暴露出来。
3.一种含有肖特基二极管的器件,其特征在于,所述器件是由权利要求1所述方法制作含有肖特基二极管的器件,所述器件包括:
至少一个具有底部和圆弧尖端的圆锥体(C1;C2),所述圆锥体(C1;C2)是半导体材料,
其中,所述圆锥体(C1;C2)嵌入在电绝缘聚合物基体(P)中,所述圆锥体(C1;C2)的底部与第一电极(E1)结合连接,所述圆锥体(C1;C2)的圆弧尖端与第二电极(E2)结合连接,
其中,如果所述第一电极(E1)和所述第二电极(E2)中任意一个与所述圆锥体(C1;C2)一起作为肖特基结(SC),则另一电极(E2;E1)将作为电阻结(OC)。
4.根据权利要求3所述的器件,其特征在于:所述半导体是p型掺杂半导体。
5.根据权利要求3所述的器件,其特征在于:所述半导体是n型掺杂半导体。
6.根据权利要求3所述的器件,其特征在于:所述半导体是无掺杂半导体。
7.根据权利要求3至6中任一项所述的器件,其特征在于:所述半导体是包含Si或Se或Ge或者Ⅲ-Ⅴ族化合物的半导体。
8.根据权利要求7所述的器件,其特征在于:所述聚合物基体(P)是丙烯酸酯、聚氨酯、聚硅酮或者环氧树脂中的至少一个,或者是聚酰亚胺、聚碳酸酯、和/或聚丙烯酸酯。
9.根据权利要求3所述的器件,其特征在于:方法中所述衬底(S)是柔性衬底。
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