[发明专利]谐振器

说明书

本发明提供减小保持单元中的共振电阻的谐振器。具备：振动部，其具有第一电极、第二电极以及形成在该第一电极与第二电极之间的压电膜；保持部，其设置为包围振动部；一对保持单元，它们连接振动部与保持部且相互对置地设置；以及引出电极，其从保持部连续地形成到保持单元，第一电极或者第二电极连续地形成到保持单元，并在保持单元上与引出电极连接，引出电极的单位面积的电阻值比连续地形成到保持单元的第一电极或者第二电极的单位面积的电阻值小。

技术领域

本发明涉及谐振器。

背景技术

作为在电子设备中用于实现计时功能的器件，使用压电振子。随着电子设备的小型化，压电振子也要求小型化，而使用MEMS(Micro Electro Mechanical Systems：微机电系统)技术制造的谐振器被注目。

例如如专利文献1所公开的那样，以往的谐振器由矩形的振动部、在振动部上分割形成的电极、连结振动部与保持部的保持臂、以及将设置在保持臂上的电极向保持部引出的布线构成。

专利文献1：美国专利第7639105号说明书

保持臂为了不阻碍振动部的振动，而期望是细长的形状。但是，在专利文献1所公开的那样的以往的谐振器中，由于使保持臂形成为细长，而有保持臂中的共振电阻变高，反而阻碍振动部的振动这样的结束问题。

发明内容

本发明是鉴于这样的情况而提出的，其目的在于减小保持振动部的保持单元中的共振电阻。

本发明的一侧面所涉及的谐振器具备：振动部，其具有第一电极、第二电极以及形成在该第一电极与第二电极之间的压电膜；保持部，其设置为包围振动部；一对保持单元，它们连接振动部与保持部且相互对置地设置；以及引出电极，其从保持部连续地形成到保持单元，第一电极或者第二电极连续地形成到保持单元，并在保持单元上与引出电极连接，引出电极的单位面积的电阻值比连续地形成到保持单元的第一电极或者第二电极的单位面积的电阻值小。

根据这样的谐振器，成为通过与上部电极相比单位面积的电阻值较小的引出电极引出保持单元上的该上部电极的结构。由此，能够减小保持单元中的共振电阻。

另外优选保持单元还在连续地形成到保持单元的第一电极或者第二电极上具有绝缘体的保护膜，引出电极经由贯通保护膜的贯通孔，与连续地形成到保持单元的第一电极或者第二电极连接。

根据该优选的方式，具有用于调整共振频率的保护膜的谐振器也能够在保持单元上连接引出电极与电极。

另外，优选第一电极以及第二电极双方均连续地形成到保持单元，引出电极与第一电极或者第二电极连接。

根据该优选的方式，上部电极和下部电极的任意一个均能够通过引出电极连接。

另外，优选保持单元具有：第一臂，其设置在与振动部的一边大致平行的方向；和第二臂，其设置在与第一臂大致垂直的方向，并连接第一臂与振动部，引出电极在第一臂与第二臂的连接点经由，贯通孔与第一电极或者第二电极连接。

根据该优选的方式，通过在保持单元的弯曲部设置贯通孔，能够使弯曲部的刚性、质量增大。由此能够提高弯曲部的声学反射效果，使振动的封闭性提高。

另外，优选保持单元具备由设置在振动部的一边大致平行的方向的一对第一臂、和设置在与一对第一臂大致垂直的方向，且在其两端与该一对第一臂的两端连接的一对第二臂形成的振动缓冲部，引出电极在振动缓冲部的第一臂与一对第二臂的连接点经由贯通孔与第一电极或者第二电极连接。

根据该优选的方式，通过在振动缓冲部的两端设置贯通孔，振动缓冲部的两端的刚性、质量增大。由此，在振动缓冲部中，能够更有效地抑制振动向保持单元的传播，能够高效地封闭从振动部传播的轮廓振动的高次谐波的振动。

根据本发明，保持振动部的保持单元中的共振电阻变小。