[发明专利]谐振器

权利要求书

1.一种谐振器，具备：

振动部，其具有第一电极、第二电极以及形成在该第一电极与上述第二电极之间的压电膜；

保持部，其设置为包围上述振动部；

一对保持单元，它们连接上述振动部与上述保持部，并相互对置地设置；以及

引出电极，其从上述保持部连续地形成到上述保持单元，

上述第一电极或者上述第二电极连续地形成到上述保持单元，并在上述保持单元上与上述引出电极连接，

上述引出电极的单位面积的电阻值比连续地形成到上述保持单元的上述第一电极或者上述第二电极的单位面积的电阻值小。

2.根据权利要求1所述的谐振器，其特征在于，

上述保持单元还在连续地形成到上述保持单元的上述第一电极或者上述第二电极上具有绝缘体的保护膜，

上述引出电极经由贯通上述保护膜的贯通孔，与连续地形成到上述保持单元的上述第一电极或者上述第二电极连接。

3.根据权利要求2所述的谐振器，其特征在于，

上述第一电极以及上述第二电极双方均连续地形成到上述保持单元，

上述引出电极与上述第一电极或者上述第二电极连接。

4.根据权利要求1～3中任意一项所述的谐振器，其特征在于，

上述保持单元具有：

第一臂，其设置在与上述振动部的一边大致平行的方向；和

一对第二臂，其设置在与上述第一臂大致垂直的方向，并连接上述第一臂与振动部，

上述引出电极在上述第一臂与上述第二臂的连接点经由贯通孔与上述第一电极或者上述第二电极连接。

5.根据权利要求1～3中任意一项所述的谐振器，其特征在于，

上述保持单元具备振动缓冲部，该振动缓冲部由设置在与上述振动部的一边大致平行的方向的一对第一臂、和设置在与上述一对第一臂大致垂直的方向并在其两端与该一对第一臂的两端连接的一对第二臂形成，

上述引出电极在上述振动缓冲部的上述第一臂与第二臂的连接点经由贯通孔与第一电极或者第二电极连接。