[发明专利]检查装置以及检查系统

说明书

检查装置1具备：对具有亮部T1和比亮部T1昏暗的暗部T2的被检物T进行照明的照明部2、将来自被照明部2照明后的被检物T的物光分割为通过分别不同的光路的第一光L1和第二光L2的光路分割部3、使通过光路分割部3后的第一光L1的光量降低的滤光器4、通过滤光器4后的第一光L1进行成像的第一摄像部5a、通过光路分割部3后的第二光L2进行成像的第二摄像部5b、以及根据由第一摄像部5a摄像的亮部的信息和由第二摄像部5b摄像的暗部的信息检查被检物的缺陷的有无的检查部7。

技术领域

本发明涉及对被检物的瑕疵或污垢等缺陷进行检查的检查装置以及检查系统的技术领域。

背景技术

以往，作为进行容器的检查等的装置，公开了能够通过1个检查转子检查不同的检查内容的装置（参照专利文献1）。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2012-202767号公报。

发明内容

发明要解决的课题

可是，根据不同的检查内容，关于检查装置，使用分别不同的检查装置，因此，需要多个检查装置，并且，需要配置多个检查装置的空间，成为高成本的装置。

本发明是鉴于这样的情况而完成的，其目的在于提供能够通过简单的构造同时进行亮暗不同的部分的检查的检查装置以及检查系统。

用于解决课题的方案

本发明的检查装置具备：照明部，对具有亮部和比所述亮部昏暗的暗部的被检物进行照明；光路分割部，将来自被所述照明部照明后的所述被检物的物光分割为通过分别不同的光路的第一光和第二光；滤光器，使通过所述光路分割部后的所述第一光的光量降低；第一摄像部，在其中，通过所述滤光器后的所述第一光进行成像；第二摄像部，在其中，通过所述光路分割部后的所述第二光进行成像；以及检查部，根据由所述第一摄像部摄像的亮部的信息和由所述第二摄像部摄像的暗部的信息检查所述被检物的缺陷的有无。

此外，本发明的检查装置具备以能旋转的方式载置所述被检物的保持部，所述第一摄像部和所述第二摄像部分别呈线状地排列有多个光电变换元件。

此外，本发明的检查装置的所述光路分割部具有包含分束器的棱镜。

此外，本发明的检查装置的所述光路分割部具有反射构件，所述反射构件包含以分别不同的角度倾斜的相邻的第一反射面和第二反射面。

此外，本发明的检查装置具备：图像处理部，将由所述第一摄像部摄像的亮部的图像和由所述第二摄像部摄像的暗部的图像合成；以及显示部，对由所述图像处理部处理后的图像进行显示。

此外，本发明的检查系统具备：概略圆盘状的转子主体，能以轴为中心旋转；工作台，在所述转子主体的外周缘以能旋转的方式支承所述被检物；盖子，从上方按压所述被检物；以及所述检查装置，对放置于所述工作台的所述被检物进行检查。

发明效果

本发明的检查装置具备：照明部，对具有亮部和比所述亮部昏暗的暗部的被检物进行照明；光路分割部，将来自被所述照明部照明后的所述被检物的物光分割为通过分别不同的光路的第一光和第二光；滤光器，使通过所述光路分割部后的所述第一光的光量降低；第一摄像部，在其中，通过所述滤光器后的所述第一光进行成像；第二摄像部，在其中，通过所述光路分割部后的所述第二光进行成像；以及检查部，根据由所述第一摄像部摄像的亮部的信息和由所述第二摄像部摄像的暗部的信息检查所述被检物的缺陷的有无。因此，能够通过简单的构造同时进行亮暗不同的部分的检查。

此外，本发明的检查装置具备以能旋转的方式载置所述被检物的保持部，所述第一摄像部和所述第二摄像部分别呈线状地排列有多个光电变换元件。因此，能够显示高分辨率的图像。