[发明专利]检查装置以及检查系统

权利要求书

1.一种检查装置，其中，具备：

照明部，对具有亮部和比所述亮部昏暗的暗部的被检物进行照明；

光路分割部，将来自被所述照明部照明后的所述被检物的物光分割为通过分别不同的光路的第一光和第二光；

滤光器，使通过所述光路分割部后的所述第一光的光量降低；

第一摄像部，在其中，通过所述滤光器后的所述第一光进行成像；

第二摄像部，在其中，通过所述光路分割部后的所述第二光进行成像；以及

检查部，根据由所述第一摄像部摄像的亮部的信息和由所述第二摄像部摄像的暗部的信息检查所述被检物的缺陷的有无。

2.根据权利要求1所述的检查装置，其中，

具备以能旋转的方式载置所述被检物的保持部，

在所述第一摄像部和所述第二摄像部中分别呈线状地排列有多个光电变换元件。

3.根据权利要求1或权利要求2所述的检查装置，其中，

所述光路分割部具有包含分束器的棱镜。

4.根据权利要求1或权利要求2所述的检查装置，其中，

所述光路分割部具有反射构件，所述反射构件包含以分别不同的角度倾斜的相邻的第一反射面和第二反射面。

5.根据权利要求1或权利要求2所述的检查装置，其中，具备：

图像处理部，将由所述第一摄像部摄像的亮部的图像和由所述第二摄像部摄像的暗部的图像合成；以及

显示部，对由所述图像处理部处理后的图像进行显示。

6.一种检查系统，其中，具备：

概略圆盘状的转子主体，能以轴为中心旋转；

工作台，在所述转子主体的外周缘以能旋转的方式支承所述被检物；

盖子，从上方按压所述被检物；以及

根据权利要求1至5的任一项所述的检查装置，对放置于所述工作台的所述被检物进行检查。