[发明专利]图像取得装置以及图像取得方法

权利要求书

1.一种图像取得装置，其特征在于：

具备：

空间光调制器，调制从光源输出的照射光；

控制部，以在观察对象物中形成多个聚光点的方式控制被呈现于所述空间光调制器的调制图案；

聚光光学系统，为了在所述观察对象物中形成所述多个聚光点而对被调制了的所述照射光进行聚光；

扫描部，在与所述聚光光学系统的光轴相交叉的扫描方向上扫描所述观察对象物中的所述多个聚光点的位置；

光检测器，检测从所述多个聚光点分别产生的多个观察光；以及

图像制作部，使用来自所述光检测器的检测信号来制作所述观察对象物的图像，

所述控制部根据所述光轴的方向上的所述多个聚光点的位置，设定相邻的所述聚光点的中心间隔，

以相邻的所述聚光点的扫描区域发生部分重叠的方式设定各个所述扫描区域。

2.如权利要求1所述的图像取得装置，其特征在于：

所述控制部对应于所述光轴的方向上的所述多个聚光点的位置的变化，使所述中心间隔变化。

3.如权利要求2所述的图像取得装置，其特征在于：

所述光轴的方向上的所述多个聚光点的位置越是从所述观察对象物的表面离开，所述控制部越是扩大所述中心间隔。

4.如权利要求1～3中任意一项所述的图像取得装置，其特征在于：

所述扫描部包含接收被调制了的所述照射光的光扫描器。

5.如权利要求1～3中任意一项所述的图像取得装置，其特征在于：

所述扫描部包含保持所述观察对象物并在所述扫描方向上使所述观察对象物移动的平台。

6.如权利要求1～5中任意一项所述的图像取得装置，其特征在于：

所述光检测器具有用于分别检测所述多个观察光的多个检测区域，

所述多个检测区域的大小以及中心间隔根据所述光轴的方向上的所述多个聚光点的位置进行设定。

7.如权利要求6所述的图像取得装置，其特征在于：

所述光检测器输出作为所述检测信号的对应于所述多个检测区域的多个图像数据，

所述图像制作部为了制作所述观察对象物的图像而结合所述多个图像数据。

8.如权利要求6或者7所述的图像取得装置，其特征在于：

所述光检测器包含具有多个阳极的多阳极光电倍增管。

9.如权利要求6或者7所述的图像取得装置，其特征在于：

所述光检测器包含具有多个像素的区域图像传感器。

10.如权利要求6或者7所述的图像取得装置，其特征在于：

所述光检测器包含具有多个雪崩光电二极管的雪崩光电二极管阵列。

11.如权利要求1～10中任意一项所述的图像取得装置，其特征在于：

从所述光轴的方向看，所述多个聚光点在与所述扫描方向相交叉的方向上进行排列。

12.如权利要求1～11中任意一项所述的图像取得装置，其特征在于：

所述控制部进一步根据所述观察对象物的表面以及/或者内部的像差量而设定相邻的所述聚光点的中心间隔。

13.如权利要求1～12中任意一项所述的图像取得装置，其特征在于：

一边对相邻的所述聚光点的所述扫描区域重叠的部分进行加权一边结合多个图像数据。