[发明专利]液体喷射头以及液体喷射头的制造方法

说明书

本发明提供一种能够降低被形成在密封板等配线板上的配线的电阻，并且实现小型化的液体喷射头以及液体喷射头的制造方法。所述液体喷射头具备密封板(33)，在所述密封板(33)的第一面(41)接合有具备多个压电元件(32)的压力室形成板(29)，并且，在与第一面(41)相反的一侧的第二面(42)接合有输出对压电元件(32)进行驱动的信号的驱动IC(34)，在密封板(33)的第一面(41)上，形成有与各个驱动元件(32)所共用的共用配线(38)连接的下表面侧埋设配线(51)，下表面侧埋设配线(51)的至少一部分被埋设在密封板(33)内。

技术领域

本发明涉及具备形成有与驱动IC(Integrated Circuit：集成电路)连接的配线的配线板的液体喷射头以及液体喷射头的制造方法。

背景技术

作为具备液体喷射头的液体喷射装置而存在有例如喷墨式打印机、喷墨式绘图机等图像记录装置。最近，产生了能够使极少量的液体准确地喷落在预定位置处的特长，从而也能够应用于各种制造装置中。例如，被应用于制造液晶显示器等的滤色器的显示器制造装置、形成有机电致发光(EL，ElectroLuminescence)显示器或面发光显示器(FED)等的电极的电极形成装置、制造生物芯片(生物化学元件)的芯片制造装置中。而且，在图像记录装置用的记录头中喷射液状的油墨，在显示器制造装置用的颜色材料喷射头中喷射R(Red：红色)、G(Green：绿色)、B(Blue：蓝色)各种颜色材料的溶液。此外，在电极形成装置用的电极材喷射头中喷射液状的电极材料，在芯片制造装置用的生物体有机物喷射头中喷射生物体有机物的溶液。

上述的液体喷射头通过对压力室形成板、压电元件(驱动元件的一种)、密封板等进行层压而形成。这里，在压力室形成板上形成有与喷嘴连通的压力室，压电元件使压力室内的液体产生压力变动。此外，密封板布置为在密封板和压电元件之间设置有空间。上述的压电元件由通过驱动IC(也称之为驱动器IC)供给的驱动信号而驱动。上述压电元件例如通过将针对每个压力室而设置的独立电极层、锆钛酸铅(PZT)等的压电体层、各压力室所共用的共用电极层进行层压而形成。而且，当驱动IC(也称之为驱动器IC)将电压信号向各独立电极层供给时，压电体层会响应于该电压信号而发生变形，从而会在压力室内产生压力变动。通过利用该压力变动，液体喷射头通过喷嘴喷射液体。在此，驱动IC一直以来都被设置在液体喷射头的外侧。例如已知将驱动IC设置在与液体喷射头连接的柔性板上(例如参照专利文献1)。

发明内容

技术问题

近来，随着液体喷射头的小型化而开发了一种将驱动IC接合在覆盖压电元件的密封板上的技术。在这种结构中，在密封板的一侧(压力室形成板侧)的表面上，形成有向压电元件的共用电极层供给电力的配线。附带地，当喷嘴的数量随着喷嘴密度的增大而增加时，向共用电极层供给的电力会增大。因此，已经尝试了使配线的电力阻抗(下面简称为电阻)降低。然而，当为了使配线的电阻降低而增大配线的宽度时，配线区域将会增大，进而密封板的尺寸将会变大。此外，也考虑将配线的厚度增厚。然而，如果配线从密封板向压电元件侧突出，有可能阻碍与密封板对置的压电元件的变形。因此，需要增大压电元件与密封板之间的距离。因此，液体喷射头的小型化变得较为困难。

本发明是鉴于这种情况而被完成的，其目的在于，提供一种能够降低被形成在密封板等配线板上的配线的电阻，并且实现小型化的液体喷射头以及液体喷射头的制造方法。

问题的解决方案

本发明的液体喷射头是为了达成上述目的而被提出的，并且包括：配线板，在所述配线板的第一面上连接有具备多个驱动元件的驱动元件形成板，在配线板的与所述第一面相反的一侧的第二面上设置有输出对所述驱动元件进行驱动的信号的驱动集成电路，其中，在所述配线板的所述第一面上形成有与各个驱动元件所共用的共用电极连接的配线，并且所述配线的至少一部分被埋设在所述配线板内。