[发明专利]辐射热计型THz检测器有效
| 申请号： | 201680005713.4 | 申请日： | 2016-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN107209055B | 公开（公告）日： | 2019-03-29 |
| 发明（设计）人： | 北浦隆介;石原正敏;山崎理弘;高桥宏典 | 申请（专利权）人： | 浜松光子学株式会社 |
| 主分类号： | G01J1/02 | 分类号： | G01J1/02;G01N21/3581;G01R29/08;H01Q19/30 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 杨琦;黄浩 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 辐射热 thz 检测器 | ||
1.一种辐射热计型THz检测器，其特征在于，
具备：
接收并放射THz波的指向性天线；
与所述指向性天线相对配置的收信天线；及
检测由流经所述收信天线的电流引起的发热的辐射热计，
所述指向性天线在俯视时与所述收信天线重叠，
所述指向性天线的长度方向长比所述收信天线的长度方向长短，
所述辐射热计型THz检测器还具备：
具有凹部的盖部件；及
被所述盖部件盖住，且与所述盖部件共同划分密闭空间的支撑基板，
所述指向性天线固定于所述凹部的底面，
所述指向性天线、所述收信天线、及所述辐射热计配置于所述密闭空间内。
2.如权利要求1所述的辐射热计型THz检测器，其中，
将所述THz波的波长设为λ，
所述指向性天线与所述收信天线的距离为λ/4以下。
3.如权利要求1或2所述的辐射热计型THz检测器，其中，
进一步具备反射天线，其配置于与所述指向性天线共同夹着所述收信天线的位置。
4.如权利要求1所述的辐射热计型THz检测器，其中
所述盖部件具备：具有所述凹部的硅基板，
所述硅基板的所述凹部的深度d1为10μm以上且400μm以下，
所述硅基板的周缘部的厚度d2为200μm以上且2mm以下，
所述密闭空间内设定为比大气压低的压力。
5.如权利要求4所述的辐射热计型THz检测器，其中
具备：
设置于所述硅基板的所述凹部的相反侧的面的抗反射膜；及
设置于所述硅基板的所述凹部的内面的绝缘膜，
所述抗反射膜的材料为SiO2或聚对二甲苯，
所述绝缘膜的材料为SiO2或聚对二甲苯，
所述硅基板的比电阻设定为1kΩcm以上。
6.一种辐射热计型THz检测器，其特征在于，
具备：
接收并放射THz波的指向性天线；
与所述指向性天线相对配置的收信天线；及
检测由流经所述收信天线的电流引起的发热的辐射热计，
所述指向性天线在俯视时与所述收信天线重叠，
所述指向性天线的长度方向长比所述收信天线的长度方向长短，
进一步具备反射天线，其配置于与所述指向性天线共同夹着所述收信天线的位置。
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