[实用新型]CVD/PVD设备专用吊具

权利要求书

1.一种CVD/PVD设备专用吊具，其特征在于，包括：固定卡头(1)、连接装置、起吊机构，所述连接装置与起吊机构的上端部以可拆卸方式安装成一个整体结构，该整体结构的上端部与固定卡头(1)紧固连接。

2.根据权利要求1所述的CVD/PVD设备专用吊具，其特征在于，所述固定卡头(1)包括：顶部、侧壁、底部以及由顶部、侧壁、底部所围成的内腔，所述顶部上设置有连接机构，所述连接机构能够与起重设备相连。

3.根据权利要求2所述的CVD/PVD设备专用吊具，其特征在于，所述侧壁与底部相对应位置处设置有安装缺口；连接装置与起吊机构装配成的整体结构的上端部通过该安装缺口安装在固定卡头(1)的内腔中。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的CVD/PVD设备专用吊具，其特征在于，所述整体结构的上端部通过螺栓柱(5)与固定卡头(1)紧固连接。

5.根据权利要求1所述的CVD/PVD设备专用吊具，其特征在于，所述起吊机构包括：吊钩和/或T型头(2)。

6.根据权利要求1所述的CVD/PVD设备专用吊具，其特征在于，所述连接装置包括：连接头、圆销(4)、圆销套(7)以及压片(3)；所述连接头的上端部设置有凹环，所述圆销(4)套设在该凹环位置，圆销套(7)套装在圆销(4)外，所述压片(3)套设在连接头的上端部并位于圆销(4)与圆销套(7)之间。

7.根据权利要求3所述的CVD/PVD设备专用吊具，其特征在于，还包括锁紧装置，所述锁紧装置为插销(6)，所述插销(6)通过固定卡头(1)底部贯穿安装缺口的预留台阶孔将由连接装置与吊钩装配成的整体结构的上端部锁死在固定卡头(1)的内腔中。