[实用新型]回收挥发性有机氯化物气体的装置有效
申请号: | 201621442904.0 | 申请日: | 2016-12-27 |
公开(公告)号: | CN206577554U | 公开(公告)日: | 2017-10-24 |
发明(设计)人: | 方书农;梁重时;王溯;方云英 | 申请(专利权)人: | 新阳硅密(上海)半导体技术有限公司 |
主分类号: | B01D53/04 | 分类号: | B01D53/04 |
代理公司: | 上海脱颖律师事务所31259 | 代理人: | 李强 |
地址: | 201616 上海市松*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 回收 挥发性 有机 氯化物 气体 装置 | ||
1.回收挥发性有机氯化物气体的装置,其特征在于,包括:
一个或多个吸附塔,所述吸附塔中装置有吸附树脂;
加热装置,所述加热装置与全部或部分所述吸附塔连通,用于将热气体或水蒸气输入所述吸附塔内;
第一冷凝器,所述第一冷凝器与全部或部分所述吸附塔连通;
所述吸附塔内的吸附树脂吸附有机氯化物气体后,加热装置向所述吸附塔内输入热空气或水蒸气,使吸附在所述吸附树脂上的有机氯化物气体脱离所述吸附树脂;并将有机氯化物气体输入第一冷凝器内冷凝为液体后输出;
还包括第二冷凝器,所述第二冷凝器与所述第一冷凝器连通,以使有机氯化物气体进入所述第一冷凝器冷凝处理后,再进入所述第二冷凝器中继续冷凝处理;
还包括抽真空装置,所述抽真空装置与所述第一冷凝器及第二冷凝器中的一个或两个均连通,用于将所述第一冷凝器和/或第二冷凝器内抽真空。
2.根据权利要求1所述的回收挥发性有机氯化物气体的装置,其特征在于,所述吸附塔包括第一吸附塔和第二吸附塔,所述第一吸附塔与所述第二吸附塔连通,以使气体经第一吸附塔内的吸附树脂吸附后,再输入所述第二吸附塔内由其内的吸附树脂吸附;所述第一冷凝器与所述第二吸附塔连通;所述第二冷凝器与所述第二吸附塔连通,以使经第二冷凝器冷凝处理后的气体可再输入所述第二吸附塔内继续吸附。
3.根据权利要求2所述的回收挥发性有机氯化物气体的装置,其特征在于,所述吸附塔还包括第三吸附塔;所述第三吸附塔与所述第二吸附塔连通;在第一吸附塔吸附饱和后,气体首先经所述第二吸附塔吸附处理后,再进入所述第三吸附塔吸附处理;所述第一冷凝器与所述第一吸附塔及所述第三吸附塔均连通。
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