[实用新型]一种芯片装片机有效
申请号: | 201621440106.4 | 申请日: | 2016-12-26 |
公开(公告)号: | CN206388690U | 公开(公告)日: | 2017-08-08 |
发明(设计)人: | 周锋;卢海伦;吉祥;严小龙 | 申请(专利权)人: | 合肥通富微电子有限公司 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683;B08B1/02;B08B3/02 |
代理公司: | 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙)11435 | 代理人: | 郭栋梁 |
地址: | 230000 安徽省合肥市经*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 芯片 装片机 | ||
1.一种芯片装片机,其特征在于,包括:设备主体以及设置在所述设备主体上的芯片吸取装置和用于清洗所述芯片吸取装置吸取头的清洗装置;
所述芯片吸取装置的吸取头在第一工位和第二工位之间往返,所述吸取头在所述第一工位时吸取芯片,所述吸取头在所述第二工位时卸下芯片;
从第一工位到第二工位的顺序方向为第一方向,从第二工位到第一工位的顺序方向为第二方向;
所述清洗装置设置在所述吸取头沿所述第二方向返回的路径上,在所述吸取头沿所述第二方向返回过程中,所述清洗部分对所述吸取头进行自动清洗。
2.根据权利要求1所述的芯片装片机,其特征在于,所述芯片吸取装置包括一端转动设置的吸取主体,所述吸取头设置在所述吸取主体的另一端,所述吸取主体能够带动所述吸取头绕其转轴转动。
3.根据权利要求2所述芯片装片机,其特征在于,所述吸取头绕所述转轴的转动角度范围为0-360度;
所述吸取头在第一工位时为初始位置,所述第一工位与所述第二工位成180度;所述吸取头从第一工位沿第一方向转动至第二工位的角度为0-180度,所述吸取头从第二工位沿第二方向转回至第一工位的角度为180-360度;
所述清洗装置设置在所述吸取头沿所述第二方向从180-360度之间转动所经过的路径上。
4.根据权利要求3所述芯片装片机,其特征在于,所述清洗装置设置在所述吸取头转到270度时的位置。
5.根据权利要求2所述芯片装片机,其特征在于,所述吸取头绕所述转轴的转动角度范围为0-180度;
所述吸取头在第一工位时为初始位置,所述第一工位与所述第二工位成180度;所述吸取头从第一工位沿第一方向转动至第二工位的角度为0-180度,所述吸取头从第二工位沿第二方向转回至第一工位的角度为180-0度;
所述清洗装置设置在所述吸取头沿所述第二方向从180-0度之间的路径上。
6.根据权利要求5所述芯片装片机,其特征在于,所述清洗装置设置在所述吸取头转到90度时的位置。
7.根据权利要求1所述芯片装片机,其特征在于,所述清洗装置包括清洗头。
8.根据权利要求7所述芯片装片机,其特征在于,所述清洗头为可伸缩式或可移动式。
9.根据权利要求1~8中的任一项所述的芯片装片机,其特征在于,还包括设置在所述设备主体上的芯片贴装装置,所述芯片贴装装置设置在所述芯片吸取装置的下游,所述芯片贴装装置接收从所述芯片吸取装置卸下的芯片。
10.根据权利要求9所述的芯片装片机,其特征在于,所述芯片贴装装置为可移动式。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造