[实用新型]一种线状蒸发源及真空蒸镀装置有效
| 申请号： | 201621431392.8 | 申请日： | 2016-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN206486584U | 公开（公告）日： | 2017-09-12 |
| 发明（设计）人： | 吕磊;滨田;阎洪刚;雷志宏 | 申请（专利权）人： | 上海天马有机发光显示技术有限公司;天马微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司11332 | 代理人： | 孟金喆,胡彬 |
| 地址： | 200120 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 线状 蒸发 真空 装置 | ||
1.一种线状蒸发源，其特征在于，包括：
坩埚，包括坩埚容体和坩埚盖；
所述坩埚容体包括第一容体和第二容体，所述第二容体位于第一容体内部；
所述第二容体的厚度大于或等于1mm，小于或等于3mm；
所述坩埚盖和所述坩埚容体之间设置有垫片，所述坩埚盖压合所述垫片于所述坩埚容体上。
2.根据权利要求1所述的线状蒸发源，其特征在于，所述第二容体涂布于所述第一容体内部。
3.根据权利要求1所述的线状蒸发源，其特征在于，所述第二容体内嵌于所述第一容体内部。
4.根据权利要求1所述的线状蒸发源，其特征在于，构成所述第一容体的材料包括金属材料；构成所述第二容体的材料包括非金属材料。
5.根据权利要求4所述的线状蒸发源，其特征在于，所述金属材料包括钛。
6.根据权利要求4所述的线状蒸发源，其特征在于，所述非金属材料包括陶瓷。
7.根据权利要求6所述的线状蒸发源，其特征在于，所述陶瓷材料包括三氧化二铝或热解氮化硼。
8.根据权利要求1所述的线状蒸发源，其特征在于，所述线状蒸发源的第二容体内设置有金属蒸镀材料。
9.根据权利要求8所述的线状蒸发源，其特征在于，所述金属蒸镀材料包括镱。
10.根据权利要求1所述的线状蒸发源，其特征在于，所述坩埚盖经由固定装置压合所述垫片于所述第一容体上。
11.根据权利要求1所述的线状蒸发源，其特征在于，所述垫片为铝片或石墨片。
12.一种真空蒸镀装置，其特征在于，包括权利要求1-11中任一项所述的线状蒸发源。
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