[实用新型]一种激光光刻光学结构

说明书

技术领域

本实用新型属于直写式技术领域，具体涉及一种激光光刻光学结构。

背景技术

直写式曝光系统可用于芯片制造、印刷电路板、平板显示器、生物芯片、光学玻璃平板等衬底上印刷构图等场合。

但是目前市场上的曝光机的光学引擎大都体积较大，且多为分体式结构，不便于设备维护，同时对激光光源的利用效率也较低。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型的主要目的在于提供一种激光光刻光学结构。

为达到上述目的，本实用新型的技术方案是这样实现的：

本实用新型实施例提供一种激光光刻光学结构，该结构包括光纤激光器、以及一体式结构的光束整形镜片组、反射镜、DMD芯片、投影镜片组，所述光纤激光器发出的光束依次通过光束整形镜片组、反射镜投射到DMD芯片，所述DMD芯片反射的光束通过投影镜片组投射到外部。

上述方案中，所述光束整形镜片组设置在呈L型的第一壳体内，所述反射镜设置在连接壳体内的一侧，所述投影镜片组垂直设置在第二壳体内；所述连接壳体的左右任意一侧与第一壳体的光束输出面连接，所述连接壳体内的反射镜设置在与第一壳体相反的一侧内，所述连接壳体的上侧设置DMD芯片，所述连接壳体的下侧与第二壳体的上侧连接。

上述方案中，所述反射镜倾斜设置在接壳体内用于将光束反射到DMD芯片。

上述方案中，所述连接壳体为一金属密封件。

上述方案中，所述第二壳体的两侧设置有用于卡夹在支架上的凸起。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果：

本实用新型将光束整形光路与DMD芯片及投影镜片组一体化，极大的简化了曝光设备的光学引擎结构，不但方便后续的设备维护，也大大提升了设备激光光源的光学利用效率，间接的降低了生产成本，同时封闭的结构能避免激光对人眼的伤害，增加了设备使用过程中的安全性。

附图说明

图1为本实用新型实施例提供一种激光光刻光学结构的结构示意图；

图2为本实用新型实施例提供一种激光光刻光学结构的光路图。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

本实用新型实施例提供一种激光光刻光学结构，如图1所示，该结构包括光纤激光器1、以及一体式结构的光束整形镜片组2、反射镜3、DMD芯片4、投影镜片组5，所述光纤激光器1发出的光束依次通过光束整形镜片组2、反射镜3投射到DMD芯片4，所述DMD芯片4反射的光束通过投影镜片组5投射到外部，这样，将光束整形镜片组2、DMD芯片4及投影镜片组5一体化，极大的增加了光学结构的稳定性以及维护的便利性，通过简化结构提升激光光源的利用效率，同时降低成本。

所述光束整形镜片组2设置在呈L型的第一壳体6内，所述反射镜3设置在连接壳体7内的一侧，所述投影镜片组5垂直设置在第二壳体8内；所述连接壳体7的左右任意一侧与第一壳体6的光束输出面连接，所述连接壳体7内的反射镜3设置在与第一壳体6相反的一侧内，所述连接壳体7的上侧设置DMD芯片4，所述连接壳体7的下侧与第二壳体8的上侧连接，这样，将一体化的光束整形镜片组2、DMD芯片4及投影镜片组5封装在一起，进一步地增加了光学结构的稳定性以及维护的便利性，通过简化结构提升激光光源的利用效率。

所述反射镜3倾斜设置在接壳体7内用于将光束反射到DMD芯片4。

所述连接壳体7为一金属密封件，这样，结合第一壳体6、第二壳体8，封闭的结构能避免激光散射到外部，对人眼造成伤害，提升了设在备使用过程中的安全性。

所述第二壳体8的两侧设置有用于卡夹在支架上的凸起。

如图1、2所示，本实用新型的工作过程为：

所述光纤激光器1发出的准直光束通过光束整形镜片组2反射到反射镜3，所述反射镜3再次反射到DMD芯片4，所述DMD芯片4反射的光束通过投影镜片组5投射到外部。

以上所述，仅为本实用新型的较佳实施例而已，并非用于限定本实用新型的保护范围。