[实用新型]一种激光光刻光学结构

权利要求书

1.一种激光光刻光学结构，其特征在于，该结构包括光纤激光器、以及一体式结构的光束整形镜片组、反射镜、DMD芯片、投影镜片组，所述光纤激光器发出的光束依次通过光束整形镜片组、反射镜投射到DMD芯片，所述DMD芯片反射的光束通过投影镜片组投射到外部。

2.根据权利要求1所述的激光光刻光学结构，其特征在于：所述光束整形镜片组设置在呈L型的第一壳体内，所述反射镜设置在连接壳体内的一侧，所述投影镜片组垂直设置在第二壳体内；所述连接壳体的左右任意一侧与第一壳体的光束输出面连接，所述连接壳体内的反射镜设置在与第一壳体相反的一侧内，所述连接壳体的上侧设置DMD芯片，所述连接壳体的下侧与第二壳体的上侧连接。

3.根据权利要求1或2所述的激光光刻光学结构，其特征在于：所述反射镜倾斜设置在接壳体内用于将光束反射到DMD芯片。

4.根据权利要求3所述的激光光刻光学结构，其特征在于：所述连接壳体为一金属密封件。

5.根据权利要求4所述的激光光刻光学结构，其特征在于：所述第二壳体的两侧设置有用于卡夹在支架上的凸起。