[实用新型]一种刻蚀装置

权利要求书

1.一种刻蚀装置，包括刻蚀槽(1)，其特征在于，所述刻蚀槽(1)的上游设置有上料端(2)，所述上料端(2)和所述刻蚀槽(1)的上部设置有用于输送硅片(100)的滚轮组件(3)，所述上料端(2)在所述滚轮组件(3)的上方设置有喷淋管(4)，所述喷淋管(4)和所述刻蚀槽(1)之间设置有擀液滚轮(5)，所述擀液滚轮(5)位于所述滚轮组件(3)的上方。

2.根据权利要求1所述的刻蚀装置，其特征在于，所述刻蚀槽(1)内设置有挡板组件，所述挡板组件将所述刻蚀槽(1)沿水平方向分隔成多个小槽，所述挡板组件包括至少一对溢流挡板(11)，每对所述溢流挡板(11)之间均设置有抽风管道(12)。

3.根据权利要求2所述的刻蚀装置，其特征在于，所述抽风管道(12)的侧壁沿其长度方向设置有多个通风孔(121)或者设置有长条状开口(122)。

4.根据权利要求2所述的刻蚀装置，其特征在于，所述滚轮组件(3)包括多个沿水平方向并排间隔设置的滚轮，所述刻蚀槽(1)内每隔两个所述滚轮均设置有一对所述溢流挡板(11)，一对所述溢流挡板(11)之间的距离等于相邻的两个所述滚轮之间的距离。

5.根据权利要求4所述的刻蚀装置，其特征在于，所述抽风管道(12)的外径小于相邻的两个所述滚轮之间的距离。

6.根据权利要求1所述的刻蚀装置，其特征在于，所述喷淋管(4)与所述擀液滚轮(5)之间的水平距离为10～30cm。

7.根据权利要求6所述的刻蚀装置，其特征在于，所述喷淋管(4)与所述擀液滚轮(5)之间的水平距离为15cm。

8.根据权利要求1所述的刻蚀装置，其特征在于，所述擀液滚轮(5)为海绵滚轮或硬质滚轮。

9.根据权利要求1所述的刻蚀装置，其特征在于，所述喷淋管(4)设置有至少一个喷头(41)，所述喷头(41)沿其长度方向设置有多个喷孔(411)。